지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.1
- 수록면
- 461 - 466 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
To investigate the ZnO thin films which are interested in the next generation of short wavelength LEDs and Lasers, the ZnO thin films were deposited by RF sputtering system. At sputtering process of ZnO thin films, substrate temperature, work pressure respectively is 100 ℃ and 15 mTorr, and the purity of target is ZnO 5 N. The ZnO thin films were in-situ annealed at 600 ℃ in O2 atmosphere. The thickness of ZnO thin films has implemented about 1.6 ㎛ at SEM analysis after in-situ annealing process. We have investigated the crystal structure of substrates, and so structural properties of ZnO thin films has estimated by using XRD, FWHM, FE-SEM and AFM. XRD and FE-SEM showed that ZnO thin films grown on substrates had a c-axis preferential orientation in the [0001] crystal direction. XPS spectra showed that ZnO thin film was showed a peak positions corresponding to the O1s and the Zn2p. As form above XPS, we showed that the atom ratio of Zn:O related 1:1.1504 on ZnO thin film, so we could obtained useful information for p-type ZnO thin film.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (14)
참고문헌 신청
/ 1996. / Pulsed-laser deposited ZnO for device applications 98 (2) : 811 ~
/ 2000. / Fabrication of homostructural ZnO p-n junctions 219 (4) : 419 ~
/ 2001. / PLD 증착 변수에 따른 Ⅱ-Ⅵ족 화합물 ZnO 반도체 박막의 발광 특성 연구 14 (3) : 246 ~
/ 2001. / Pulse laser reactive deposition of p-type ZnO film enhanced by an electron cyclotron resonance source 223 (1) : 135 ~
/ 2003. / Growth of N-doped p-type ZnO films using ammonia as dopant source gas 22 : 249 ~
/ 2000. / Fabrication of homostructural ZnO p-n junctions 219 (4) : 419 ~
/ 2001. / PLD 증착 변수에 따른 Ⅱ-Ⅵ족 화합물 ZnO 반도체 박막의 발광 특성 연구 14 (3) : 246 ~
/ 2001. / Pulse laser reactive deposition of p-type ZnO film enhanced by an electron cyclotron resonance source 223 (1) : 135 ~
/ 2003. / Growth of N-doped p-type ZnO films using ammonia as dopant source gas 22 : 249 ~
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
In-situ 분위기 Annealing에 따른 ZnO/Sapphire(0001) 박막의구조적 특성 분석
전기전자재료학회논문지
2006 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
Undoped ZnO 박막에 Ampoule-tube 방법을 이용한 P와 As의 확산과 p형 ZnO 박막의 전기적 특성
전기전자재료학회논문지
2005 .01
-
ZnO 및 ZnO:Fe 박막의 전기적 광학적 특성
전기학회논문지
1989 .05
-
SAW 대역 통과 필터용 ZnO 박막의 특성 개선 연구
한국전자파학회논문지
2014 .12
-
As 확산이 ZnO 박막의 특성에 미치는 효과
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
-
박막트랜지스터 구동회로용 ZnO 박막의 구조적 특성에 관한 연구
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2013 .01
-
다양한 산화물 기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 ZnO 박막의 특성 비교
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
기판 온도가 ZnO 박막의 특성에 미치는 영향
한국정보통신학회논문지
2006 .12
-
금속 촉매가 ZnO 박막을 감지물질로 이용한 NO 센서의 특성에 미치는 영향
센서학회지
2010 .01
-
Polyimide 기판을 이용한 ZnO:Al 박막 특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
Electrical and Optical Properties of p-type ZnO:P Fabricatedby Ampoule-tube Vapor-state Diffusion
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2008 .01
-
펄스 레이저 증착법에 의해 제작된 ZnO-Si-ZnO 다층 박막의 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2003 .01
-
p-형 ZnO 박막의 성장 및 전기적특성에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .10
-
As이 첨가된 ZnO 박막의 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
-
The effects of the microstructure of ZnO films on their thin film transistors
한국재료학회 학술발표대회
2008 .01
-
Effect of annealing temperature on the electrical characteristics of P-doped ZnO thin films
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2007 .01
-
신경회로망을 이용한 RF 스퍼터링 ZnO 박막증착 프로세스 모델링
전기전자재료학회논문지
2006 .01
-
열처리한 ZnO 박막 내의 산소 농도 변화에 따른구조적, 광학적 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2005 .01
-
ZnO 박막의 전기적 구조적 특성에 미치는 수소 분압비의 영향
한국표면공학회지
2006 .12
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0