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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.1
- 수록면
- 965 - 968 (4page)
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In this study we investigated the variation of the substrate temperatures using RF sputtering to identify the effect on the structure and electrical properties by c-axis orientation of ZnO thin film. ZnO thin films were prepared on Al/Si substrate. In our experimental results, ZnO thin film at 300 ℃ was well grown with (002) peak of ZnO thin film, the thin film showed the high resistivity with the value of 5.9×107 Ωcm and the roughness with 27.06 nm. As increased the substrate temperatures, the grain size of ZnO thin films was increased. From these results, we could confirm the suitable substrate temperature of ZnO thin films for FBAR(film bulk acoustic resonator).
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M. L. Cui / 2007 / Effects of annealing temperature on the structure and photoluminescence properties of ZnO films / Vacuum 81 (28) : 899 ~
S. Singh / 2007 / Effect of substrate temperature on the structure and optical properties of ZnO issue thin films deposited by reactive rf magnetron sputtering / Thin Solid F
W. Tang / 2003 / Surface Roughness and Resistivity of Au Film on Si-(111) substrate / Micro-electronic Engineering : 445 ~
Z. Yan / 2007 / Material and device properties of ZnO-based film bulk acoustic resonator for mass sensing applications / Applied Surface Science 253 (15) : 9372 ~
강창석 / 1995 / RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 ZnO 박막 증착에 관한연구 / 한국결정학회지 2 (10) : 1 ~
S. Singh / 2007 / Effect of substrate temperature on the structure and optical properties of ZnO issue thin films deposited by reactive rf magnetron sputtering / Thin Solid F
W. Tang / 2003 / Surface Roughness and Resistivity of Au Film on Si-(111) substrate / Micro-electronic Engineering : 445 ~
Z. Yan / 2007 / Material and device properties of ZnO-based film bulk acoustic resonator for mass sensing applications / Applied Surface Science 253 (15) : 9372 ~
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