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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.1
- 수록면
- 666 - 670 (5page)
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Aluminuim doped zinc oxide(ZnO:AL)Films have been prepared on Polyimide(PI) and Corning 7059 glass substrates by r.f. magnetron sputtering method. The structural of the ZnO:Al films were studied in accordance with various deposition R.F power and working pressure by XRD, SEM. And The electrical and optical properties of ZnO:Al films were characterized by Hall effect and U/V visible spectrophotometer measurements. ZnO:Al films had were hexagonal wurtzite structure and dominant c-axis orientation. The R.f power and working pressure for optimum condition to fabricate the transparent conductive films using a PI substrate were 2 mTorr and 100 W, respectively. The resistivity of the ZnO:Al films prepared under this condition were 9.6×10-4 Ωcm. The optical transmittance of 400 nm thick films at 550 nm is ∼85 %.
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A. Van der Drift / 1967 / / Philips Res., Rep. 22 : 267 ~
B. H. Choi / 1990 / Optical and electrical properties of Ga203-doped ZnO films prepared by RF sputtering / Thin Solid Films 193 : 712 ~
N. H. March / 1992 / The Electrical Characterization of Semiconductors; Majority Carriers and Electron States / Academic Press : 16 ~
S. Hayamizu / 1996 / / J. Appl. Phys 80 : 787 ~
T. W. Choi / 2001 / Electrical and mechanical properties of ceramics / J. of KIEEME(in Korean) 15 (1) : 10 ~
B. H. Choi / 1990 / Optical and electrical properties of Ga203-doped ZnO films prepared by RF sputtering / Thin Solid Films 193 : 712 ~
N. H. March / 1992 / The Electrical Characterization of Semiconductors; Majority Carriers and Electron States / Academic Press : 16 ~
S. Hayamizu / 1996 / / J. Appl. Phys 80 : 787 ~
T. W. Choi / 2001 / Electrical and mechanical properties of ceramics / J. of KIEEME(in Korean) 15 (1) : 10 ~
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