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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.12
- 수록면
- 1,219 - 1,227 (9page)
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펄스 레이저 증착(Pulsed laser Deposition: PLD) 및 RF 스퍼터링 증착(Sputtering Deposition)의 단계적 적용을 통해, 표면탄성파 대역 통과 필터(Surface Acoustic Wave Bandpass Filter: SAW-BPF)용 ZnO 박막을 성장시켰다. PLD 방법으로 성장된 ZnO 박막 위에 RF sputtering 방법을 사용하여 ZnO 박막을 재증착시켰으며, 성장된 ZnO 박막의 물성을 분석하기 위하여 XRD, SEM 및 AFM 분석장비를 사용하였다. 두 가지 증착 방법이 단계적으로 적용되어 성장된 ZnO 박막의 경우, 결정성과 배향성이 우수하게 유지되면서 표면거칠기가 향상되었다. 분석 결과, ω-scan의 반치폭과 표면거칠기의 RMS 값은 각각 0.79°와 1.108 nm였다. 그리고 성장된 양질의 ZnO 박막을 사용하여 SAW-BPF를 제작하여 측정한 결과는 응답 특성의 중심주파수가 260.8 MHz, 대역폭은 2.98 MHz, 그리고 삽입손실은 36.5 dB이었다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
References
참고문헌 (16)
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1. [학술지(정기간행물)] - W. W. Wenas / 1991 / Electrical and optical properties of boron doped ZnO thin films for solar cells grown by metalorganic chemical vapor deposition / J. Appl. Phys 70 : 7119 ~
2. [학술지(정기간행물)] - H. Ohta / 2000 / Current injection emission from a transparent p-n junction composed of p-SrCu2O2 /n-ZnO / Appl. Phys. Lett 77 : 475 ~
3. [학술지(정기간행물)] - S. A. Studenkin / 2000 / Band-edge photoluminescence in poly-crystalline ZnO films at 1.7 K / J. Luminescence 91 : 223 ~ 232
4. [학술지(정기간행물)] - F. K. Shan / 2004 / Optical Characterizations of ZnO Thin Films on Si (100) Substrates Deposited by Pulsed Laser Deposition / Journal of the Korean Physical Society 45 (3) : 771 ~ 775
5. [학술지(정기간행물)] - F. S. Hickemell / 1973 / DC triode sputtered zinc oxide surface elastic wave transducers / J. Appl. Phys 44 : 1061 ~
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5. [학술지(정기간행물)] - F. S. Hickemell / 1973 / DC triode sputtered zinc oxide surface elastic wave transducers / J. Appl. Phys 44 : 1061 ~
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