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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.1
- 수록면
- 289 - 293 (5page)
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ZnO thn films are grown on five kinds of oxide substrates including c-Al2O3(0001), r-Al2O3(01-12), MgO(100), MgO(111), NdGaO3(110) by rf magnetron sputtering and effects substrate types on properties of ZnO thin films are investigated. In order to compare the substrate effects one growth condition is selected and all the films are grown by the same growth condition. Structural and optical properties of the ZnO films are different depending on the substrates although the films are not epitaxial but polycrystalline. The ZnO film grown on NdGaO3(100) substrate shows the best overall properties among the films grown on substrates investigated in this study.
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A. Nahhas / 2001 / Epitaxial growth of ZnO films on Si substrates using an epitaxial GaN buffer / Appl. Phys. Lett. 78 (11) : 1511 ~
A. Ohtomo / 1999 / Single crystalline ZnO films grown on lattice- matched ScAlMgO4(0001) substrates / Appl. Phys. Lett. 75 (17) : 2635 ~
A. Yamamoto / 2002 / Bound biexciton photo- luminescence in ZnO epitaxial thin films / Phys. Satus Solidi B 229 (2) : 871 ~
B. K. Meyer / 2004 / Bound exciton and donor-acceptor pair recombinations in ZnO / Phys. Satus Solidi B 241 (2) : 231 ~
B. Kumar / 2006 / Luminescence properties of ZnO layers grown on Si-on-insulator substrates / Appl. Phys. Lett. 89 (14) : 141901 ~
A. Ohtomo / 1999 / Single crystalline ZnO films grown on lattice- matched ScAlMgO4(0001) substrates / Appl. Phys. Lett. 75 (17) : 2635 ~
A. Yamamoto / 2002 / Bound biexciton photo- luminescence in ZnO epitaxial thin films / Phys. Satus Solidi B 229 (2) : 871 ~
B. K. Meyer / 2004 / Bound exciton and donor-acceptor pair recombinations in ZnO / Phys. Satus Solidi B 241 (2) : 231 ~
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