지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.1
- 수록면
- 789 - 794 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Zinc oxide (ZnO) has been widely studied for its practical applications such as transparent conduction electrodes for flat panel displays and solar cells. Especially, ZnO films show good chemical stability against hydrogen plasma, absence of toxicity, abundance in nature, and then suitable for photovoltaic applications. However, the fabrication process of thin film solar cells require a high substrate temperature and/or post heat treatment. Therefore, the layers have to withstand high temperatures, requiring an excellent stability without degrading their electronic and optical properties. In this paper, we investigated the stability of zinc oxide (ZnO) films doped with aluminum and hydrogen. Doped ZnO films were prepared by r.f. magnetron sputter and followed by heat treatment at different temperatures and for various times.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (6)
참고문헌 신청
F.C.M. VanDe Pol / 1991 / R.f. planar magnetron sputtered ZnO films I: Structural properties / Thin Solid Film 204 : 349 ~
H.L. Hartnagel / 1995 / Semiconducting Transparent Thin Films / Insitute of Physics Publishing
S. Takata / 1986 / The stablility of aluminium-doped ZnO transparent electrodes fabricated by sputtering / Thin Solid Films 135 : 184 ~
T. Minami / 1989 / Heat treatment in Hydrogen gas and plasma for transparent conduction oxide films such as ZnO, SnO2 and indium tin oxide / Thin Solid Films 176 : 227 ~
김봉석 / 2007 / 다층박막을 이용한 Ga-doped ZnO 투명전도막의 특성 / 전기전자재료학회논문지 20 (12) : 1044 ~ 1048
H.L. Hartnagel / 1995 / Semiconducting Transparent Thin Films / Insitute of Physics Publishing
S. Takata / 1986 / The stablility of aluminium-doped ZnO transparent electrodes fabricated by sputtering / Thin Solid Films 135 : 184 ~
T. Minami / 1989 / Heat treatment in Hydrogen gas and plasma for transparent conduction oxide films such as ZnO, SnO2 and indium tin oxide / Thin Solid Films 176 : 227 ~
김봉석 / 2007 / 다층박막을 이용한 Ga-doped ZnO 투명전도막의 특성 / 전기전자재료학회논문지 20 (12) : 1044 ~ 1048
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
플라스틱 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성에 미치는 스퍼터 압력 효과
전기전자재료학회논문지
2009 .01
-
태양전지 응용을 위한 PC 기판상의 ZnO:Al 박막 특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2005 .01
-
RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
-
RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성
대한전자공학회 학술대회
1984 .11
-
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의성장과 미세구조 분석
전기전자재료학회논문지
2006 .01
-
Polyimide 기판을 이용한 ZnO:Al 박막 특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
Undoped ZnO 박막에 Ampoule-tube 방법을 이용한 P와 As의 확산과 p형 ZnO 박막의 전기적 특성
전기전자재료학회논문지
2005 .01
-
수소 분위기에서 후열처리한 상온증착 ZnO:Al 박막의 전기적 특성 분석
전기전자재료학회논문지
2009 .01
-
RF Sputter를 이용한 ZnO:Al 투명전도막 형성 및 후열처리 온도 변화에 따른 특성 분석
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
-
In-situ 분위기 Annealing에 따른 ZnO/Sapphire(0001) 박막의구조적 특성 분석
전기전자재료학회논문지
2006 .01
-
ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
-
RF Sputtering 방법을 이용한 ZnO 투명전극의 특성
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성
반도체디스플레이기술학회지
2010 .01
-
태양전지용 ZnO:Al 투명전도막의 제작
한국재료학회지
2006 .01
-
ZnO:Al 투명도전막의 열처리에 따른 전기적 및 광학적 특성
전기전자학회논문지
2020 .06
-
Effect of annealing temperature on the electrical characteristics of P-doped ZnO thin films
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2007 .01
-
Cosputtering법으로 증착한 ZnO박막의 Al도핑농도가 미세구조 및 물리적 특성에 끼치는 효과
한국재료학회지
2005 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0