CMP를 이용한 최적화 Cu Damascene 공정 연구 ( Studies on the Optimized CMP Processes for Cu Damascene )

윤관기 ,  이일형 ,  채연식 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

CMP를 이용한 최적화 Cu Damascene 공정 연구

尹寬基 ,  李逸炯 ,  蔡然植 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Sub-0.2μm 다층 금속배선 제작을 위한 Cu Dual-damascene 공정 연구 ( Studies on Cu Dual-damascene Processes for Fabrication of Sub-0.2μm Multi-level Interconnects )

채연식 ,  김동일 ,  윤관기 외 3명

전자공학회논문지-D

1999 .12

DAmascene 공정을 이용한 Sub-Micron 다층 Cu 배선 제작 ( Fabrication of Sub-micron Multi-Level Cu Interconnections Vias Using DAmascene Process )

정병훈 ,  정철환 ,  윤관기 외 7명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Damascene 공정을 이용한 Sub-Micron 다층 Cu 배선 제작

정병훈 ,  정철환 ,  윤관기 외 7명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Studies on Cu Damascene Processes for 1 Gbit DRAM

윤관기 ,  김동일 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Damascene 공정을 이용한 Pb(Zr,Ti)O₃ 캐패시터 제조 연구

고필주 ,  이우선

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .10

3D패키지용 Via 구리충전 시 전류밀도와 유기첨가제의 영향

최은혜 ,  이연승 ,  나사균

한국재료학회지

2012 .01

반도체 소자용 구리 배선 형성을 위한 전해 도금

김명준 ,  김재정

화학공학

2014 .01

Role of Current Density on the Cu Electro-plating Process for FCCL

Chang Min Lee ,  Jun Hyung Lim ,  Eui Cheol Pa 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

The Mechanical Property of Electroplated Cu Film

Chul-Ho Cho ,  Seung-Mo Ha ,  Yoomin Ahn 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2002 .10

조동의 전류효율에 미치는 직류 및 가변전류의 영향

안승천 ,  이상문 ,  김용환 외 1명

한국표면공학회지

2006 .10

니켈박막의 공정조건에 따른 탄성계수 변화

김상현

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2008 .08

Numerical Models of Wave-Induced Currents

Yoo ,  Dong-hoon

Korean journal of hydrosciences

1990 .01

전기도금용 펄스 전원 장치

구헌회 ,  권순걸 ,  서기영 외 2명

전력전자학회 학술대회 논문집

2000 .07

Ultrasonic Plate Wave Properties in Thin Steel Plates

Sang-Woo Choi ,  GooHwa Kim ,  Jinsu Bae 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2008 .10

Fabrication and Electrical Properties of Local Damascene FinFET Cell Array in Sub-60㎚ Feature Sized DRAM

Yong-Sung Kim ,  Soo-Ho Shin ,  Sung-Hee Han 외 5명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2006 .06

구리 박막의 표면형상과 물성에 대한 전류밀도 영향

우태규 ,  박일송 ,  정광희 외 1명

한국재료학회지

2010 .01

DC, pulse 조건에 따른 구리 도금층 미세 조직 관찰

윤지숙 ,  박찬수 ,  홍순현 외 3명

한국재료학회지

2014 .01