CMP를 이용한 최적화 Cu Damascene 공정 연구

尹寬基 ,  李逸炯 ,  蔡然植 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

CMP를 이용한 최적화 Cu Damascene 공정 연구 ( Studies on the Optimized CMP Processes for Cu Damascene )

윤관기 ,  이일형 ,  채연식 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

저 전압 , 고 성능 1Gbit Synchronous DRAM

이규찬 ,  김창현 ,  윤홍일 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Sub-0.2μm 다층 금속배선 제작을 위한 Cu Dual-damascene 공정 연구 ( Studies on Cu Dual-damascene Processes for Fabrication of Sub-0.2μm Multi-level Interconnects )

채연식 ,  김동일 ,  윤관기 외 3명

전자공학회논문지-D

1999 .12

1 Gbit 급 다층 Cu 금속 배선제작에 관한 연구

金東二 ,  李逸炯 ,  尹寬基 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Damascene 공정을 이용한 Sub-Micron 다층 Cu 배선 제작

정병훈 ,  정철환 ,  윤관기 외 7명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

DAmascene 공정을 이용한 Sub-Micron 다층 Cu 배선 제작 ( Fabrication of Sub-micron Multi-Level Cu Interconnections Vias Using DAmascene Process )

정병훈 ,  정철환 ,  윤관기 외 7명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

DRAM 특집을 내면서

진대제

전기의세계

1989 .04

Gbit/s 급 멀티미디어 통신을 위한 이중링

서건 ,  김대영 ,  강선무 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

Gbit/s 급 멀티미디어 통신을 위한 이중링 ( A Dual Ring for Gbit/s Multimedia Communication )

서건 ,  김대영 ,  강선무 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

10Gbit/s 광송수신기 개발 ( Development of 10Gbit/s Optical Transmitter and Receiver )

박문수 ,  유태환 ,  한정희 외 7명

대한전자공학회 기타 간행물

1995 .01

10Gbit/s 광송수신기 개발 ( Development of 10Gbit/s Optical Transmitter and Receiver )

박문수 ,  유태환 ,  한정희 외 7명

한국통신학회 기타 간행물

1995 .01

1 Gbit급 다층 Cu 금속 배선제작에 관한 연구

김동일 ,  이일형 ,  윤관기 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Effects of Current Wave Forms and Current Densities on the Electroplated Cu Interconnection in Damascene Plating

YuYongLee ,  B.W.Cho ,  YoungJoonPa 외 2명

Corrosion Science and Technology

2002 .01

Damascene 공정을 이용한 Pb(Zr,Ti)O₃ 캐패시터 제조 연구

고필주 ,  이우선

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .10

10 Gbit/s용 전치증폭기 설계 및 제작

홍선의 ,  임종원 ,  김성일 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2002 .11

40Gbit/s 시분할다중 전송 기술

이상수 ,  조현우 ,  임상규 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

2003 .07

10-Gbit/s Wireless Communication System at 300 GHz

Tae Jin Chung ,  Won-Hui Lee

[ETRI] ETRI Journal

2013 .06

10Gbit/s급 광송수신기 기술

박문수

한국통신학회 워크샵

1995 .01

Fabrication and Electrical Properties of Local Damascene FinFET Cell Array in Sub-60㎚ Feature Sized DRAM

Yong-Sung Kim ,  Soo-Ho Shin ,  Sung-Hee Han 외 5명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2006 .06