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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
신홍식 (한국교통대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제18권 제2호
발행연도
2019.2
수록면
38 - 43 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2019

깊은 전해에칭에서의 형상 변화 연구
신홍식 ,  박혜준 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.10 학술대회자료
구리 보호층을 이용한 전해에칭에서의 다층구조 제작
신홍식 한국기계가공학회지 2019.02 학술저널

2018

패터닝한 구리층을 이용한 전해에칭 공정에서의 형상 변화에 관한 연구
신홍식 ,  이지승 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Electrochemical etching is a popular process to apply metal patterning in various industries. In this study, the electrochemical etching using a patterned copper layer was proposed to fabricate multilayered structures. The process consists of electrodeposition, laser patterning, and electrochemical etching, and a repetition of this process enables the production of multilayered structures. In the fabrication of a multilayered structure, an etch factor that reflects the etched depth and pattern size should be considered. Hence, the etch factor in the electrochemical etching process using the copper layer was calculated. After the repetition process of electrochemical etching using copper layers, the surface characteristics of the workpiece were analyzed by EDS analysis and surface profilometer. As a result, multilayered structures with various shapes were successfully fabricated via electrochemical etching using copper layers.
#Multilayered Structure(다층구조) #Electrodeposition(전해도금) #Electrochemical Etching(전해에칭) #Protective Mask(보호 마스크)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 구리 보호층을 이용한 전해에칭의 반복 공정
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
Liu, Y. / 2015 / Fabrication of Micro Spherical Electrode by One Pulse EDM and Their Application in Electrochemical Micromachining / Journal of Manufacturing Processes 17(1):162~170 google schola 송우재 / 2017 / 와이어 펄스전해가공에서 반응표면분석법을 응용한 미세박판의 홀 가공 최적 조건에 관한 연구 / 한국기계가공학회지 16(5):141~149 dbpia 이성호 / 2013 / 미세 패턴의 디버링을 위한 전해-자기연마 복합가공의 적용과 공정 최적화에 관한 연구 / 한국기계가공학회지 12(2):114~120 dbpia Chauvy, P. F. / 2003 / Application of Laser Lithography on Oxide Film to Titanium Micromachining / Appl. Surf. Sci. 208-209:165~170 google schola Shin, H. S. / 2010 / Electrochemical Etching using Laser Masking for Multilayered Structures on Stainless Steel / CIRP Ann-Manuf. Technol 59(1):585~588 google schola

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