선택적 습식식각을 이용한 나노복합구조물 제작 연구

정직한 ,  김정환 ,  조상훈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

전기방사를 기반으로 한 3D 나노/마이크로 구조의 제조 및 응용

문성준 ,  이경진

고분자 과학과 기술

2016 .12

플라즈마 식각 공정을 통한 선택형 광 흡수/방사 메타 구조체 연구

윤보람 ,  김태환 ,  배지열 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

복합 기능 구현을 위한 마이크로/나노 계층구조 공정 개발

여나은 ,  김두인 ,  정명영

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

Top down 방식으로 마이크로 및 나노 구조를 갖는 계층구조 표면의 방오 특성에 관한 연구

박창수 ,  김태경 ,  신륭 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

기계가공 및 성형 공정 기반 나노/마이크로 구조체 제조 기술

한준세 ,  곽은지 ,  최두선 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .12

Bottom-up fabrication of doped micro/nano structure silicon

Seunghyun Back ,  Bongchul Kang

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .12

비등방성 식각 방식을 활용한 실리콘 기반 투명 마이크로 모듈 제작

강동균 ,  편도원 ,  이해석 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2022 .04

Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication

Heeyeop Chae ,  Yongjae Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

폴리머의 수축을 이용한 마이크로/나노 구조 제작에 관한 연구

이성호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

High Polymeric HFC 이용, HARC 공정에서의 고 선택비 식각 공정 연구

탁현우 ,  이혜주 ,  정병호 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .12

소자 응용을 위한 실리콘 기반 나노 및 마이크로 구조 제작 공정 기술

성호근 ,  김남영 ,  박형호 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Superoleophobic Titanium Surface Fabrication via Micro/Nano Hierarchical Structure Formation

J. W. Lee ,  W. Hwang

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

나노입자 배열 및 전사 공정에 의한 나노-마이크로 구조물 제작에 관한 연구

여은주 ,  녠 티 푸엉 ,  육근무 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

Study on Fabrication of Molds with Nano- and Micro Structures and Its Application to Optical Devices

J. S. Yoon ,  N. H. Minh ,  J. Y. Jung 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

마이크로-나노 계층구조를 가지는 건식접착구조의 연신을 이용한 제조기법 개발

한수호 ,  황희윤

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

초소형 에너지 소자 제조용 나노-마이크로 패터닝 공정 기술

권순근 ,  최학종 ,  안준형 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .05

습식식각을 이용한 나노박막 패터닝 기술

이민영 ,  이승훈 ,  김관오 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .12