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성인호 (충남대학교) 이영석 (충남대학교) 이장재 (충남대학교) 이상호 (충남대학교) 조철희 (충남대학교) 김시준 (나노텍) 유신재 (충남대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제58회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2020.2
수록면
84 - 84 (1page)

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