새로운 방식의 하이브리드 모델을 적용한 반도체 공정용 유도 결합형 플라즈마 방전 시뮬레이션

Sora Lee; YeJin Shon; Deuk-Chul Kwon; HeeHwan Choe

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Sora Lee (한국항공대학교) YeJin Shon (한국항공대학교) Deuk-Chul Kwon (국가핵융합연구소) HeeHwan Choe (한국항공대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제59회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2020.8

수록면: 96 - 96 (1page)

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