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자료유형
학술대회자료
저자정보
최은희 (한국항공대학교) 손예진 (한국항공대학교) 권득철 (NFRI) 최희환 (한국항공대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제54회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2018.2
수록면
194 - 194 (1page)

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2018

Multizone, bias를 고려한 유도 결합형 플라즈마 방전 유체 시뮬레이션
최은희 ,  손예진 ,  권득철 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.02 학술대회자료

2017

열 전달 효과를 고려한, RF-bias가 인가된 유도결합형 플라즈마 방전 유체 시뮬레이션
최은희 ,  정영도 ,  권득철 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017.08 학술대회자료

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#플라즈마 #시뮬레이션 #EEDF #IEDF #bias #multizone

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