지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
새로운 방식의 하이브리드 모델을 적용한 반도체 공정용 유도 결합형 플라즈마 방전 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
열 전달 효과를 고려한, RF-bias가 인가된 유도결합형 플라즈마 방전 유체 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
2차원 유도결합형 플라즈마 방전에서 전자 에너지 분포 함수, 유체의 흐름 및 열전달을 고려한 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
임피던스 분석을 통한 탄소나노튜브를 함유한 유기태양전지 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
반도체 공정 장비 플라즈마 시뮬레이션 연구 동향과 미래 전망
진공이야기
2018 .12
유도 결합 플라즈마(ICP)에서의 구동주파수 의존성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유도 결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 플라즈마 방전과 전자기장 시뮬레이션의 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
유도결합플라즈마 질량분석기(ICP-MS)를 활용한 나노 입자 및 단일 세포 분석
한국분석과학회 학술대회
2018 .11
다양한 재료의 임피던스 측정 방법과 분석에 관한 연구
새물리
2019 .01
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
CF₄ 유도결합플라즈마를 이용한 식각 장치의 바이어스 전극에서 측정 된 전기적 특성과 식각률 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
실시간 고감도 온도/임피던스 측정 바이오센서의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
유도결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 전자기장 전산모사와 플라즈마 방전 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
전자기 시뮬레이션을 이용한 임피던스 매칭 장치내 RF 전력 측정 최적 위치에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
펨토초레이저절제현미분석 유도결합플라즈마질량분석기 (fs-LA-ICP-MS)를 이용한 다양한 물질의 분석 사례 소개
한국분석과학회 학술대회
2018 .11
1차원 입자-셀 시뮬레이션을 이용한 RF 용량성 결합 플라즈마의 전자 가열 및 전자에너지 분포 변화 양상 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
0