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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
918 - 923 (6page)

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This research tries to compute the attractive force between Coulomb type electrostatic chuck(ESC) and liquid-crystal display(LCD) panel using the finite element analysis and confirms the influence of the air gap upon the attractive force. The air gap exists between LCD panel and the dielectric layer of the ESC and its thickness is below a few hundreds nanometers. The attractive force acting on perpendicular direction to the ESC can be obtained by applying the force calculation method, called the Maxwell stress tensor. In conclusion, the modeling of the air gap is essential to derive the attractive force of the ESC.
#Electrostatic Chuck(정전척) #Electrostatic Force(정전기력) #Maxwell stress tensor(맥스웰 응력 텐서) #Finite Element Analysis(유한요소해석) #Dielectric(유전체)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 장치 및 실험 결과
3. 맥스웰 응력 텐서
4. 유한요소해석 및 흡착력의 계산
5. 결론
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