CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF GaN USING a REMOTE PLASMA ENHANCEMENT

Choi ,  Sung-Woo ,  Cho 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Low Temperature Growth of GaN on Nitridated Sapphire using Remote Plasma Enhanced Ultrahigh Vacuum Chemical Vapor Deposition

김동준 ,  김경국 ,  백종식 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Electrical Properties in Si-Doped GaN by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

Sam Kyu Noh ,  Cheul Ro Lee ,  In Hwan Lee 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Crystal Growth and Properties of GaN Layers on Sapphire Substrate

김선태 ,  문동찬 ,  최원진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Plasma-assisted MBE 를 이용한 GaN/sapphire 단일층의 성장과 분석

임재문 ,  박창영 ,  박광욱 외 1명

한국통신학회 기타 간행물

2009 .12

Effect of substrate temperature on the morphology and water vapor transmission property of ZnO film on polymer substrate by plasma enhanced chemical vapor deposition

송준용 ,  정현옥 ,  박규대 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04

SAPPHIRE SURFACE MODIFIED BY REACTIVE ION BEAM FOR GaN DEPOSITIONS

Kim ,  H.J. ,  Pa 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Epitaxial Growth of GaN by HWP ( Helicon Wave Plasma ) Assisted Metal-Organic CVD ( Chemical Vapor Deposition ) Process

Ki Sung Kim ,  Chan Wook Chun ,  Seon Hyo Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )

정윤권 ,  정문식 ,  김흥락 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .08

Hydride Vapor Phase Epitaxy를 이용한 Sapphire기판 상에 GaN후막의 성장특성에 관한 연구

이정욱 ,  유지범 ,  변동진 외 1명

한국재료학회지

1997 .01

Deposition of Silicon Films at Low Temperature with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ( RPECVD )

Sung Woo Lee ,  Shi Woo Rhee

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

액체수송 유기금속 화학증착법 (LDS-MOCVD)에 의한 $Pb(Zr_xTi_{1-x})O_3$ 박막의 저온 ($450^{\circ}C$-$500^{\circ}C$) 증착 및 특성분석

정시화 ,  김혜령 ,  조금석 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

The Growth of GaN Depending on Initial Layers of Sapphire Substrate by Hot Wall Epitaxy

Gyong Nam Jeon ,  Keung Jun Lee ,  Han Sol Kang 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Growth and Characterization of InGaN/GaN MQWs on Two Different Types of Substrate

Taek Sung Kim ,  Jae Young Pa ,  k 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2006 .06

Patterned substrate을 이용하여 MOCVD법으로 성장된 고효율 질화물 반도체의 광특성 및 구조 분석

김선운 ,  김제원

한국재료학회지

2005 .01

Growth and Characteristics of Near-UV LED Structures on Wet-etched Patterned Sapphire Substrate

Hung-Seob Cheong ,  Chang-Hee Hong

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2006 .09

Modeling the Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Process Using Polynomial Neural Networks

Seung-Soo Han

한국지능시스템학회 논문지

1999 .04

GaN 성장을 위한 기판의 Ion Implantation 전처리에 관한 연구

이재석 ,  진정근 ,  변동진 외 3명

한국재료학회지

2004 .01

MOCVD법을 이용한 Sapphire(${Al}_{2}{O}_{2}$) 기판상의 GaN 선택적 성장특성 연구

이재인 ,  변동진 ,  금동화 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01