Dry Etching characteristics of GaN Using Reactive Ion Beam

J. W. Lee ,  H. S. Kim ,  Y. J. Pa 외 2명

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

GaN 성장을 위한 기판의 Ion Implantation 전처리에 관한 연구

이재석 ,  진정근 ,  변동진 외 3명

한국재료학회지

2004 .01

RIB 처리된 사파이어 기판을 이용하여 MOCVD로 성장시킨 GaN의 열처리 효과

이상진 ,  변동진 ,  홍창희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

Growth of GaN on ( 0001 ) Sapphire Substrates by Remote Plasma-Enhanced Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

손철수 ,  김민홍 ,  이재형 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Mg-Doped GaN/Sapphire 구조로 제작된 압전 박막 SAW 필터의 특성분석

장철영 ,  정은자 ,  정영철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

Crystal Growth and Properties of GaN Layers on Sapphire Substrate

김선태 ,  문동찬 ,  최원진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Plasma-assisted MBE 를 이용한 GaN/sapphire 단일층의 성장과 분석

임재문 ,  박창영 ,  박광욱 외 1명

한국통신학회 기타 간행물

2009 .12

Si(111) 위에 Ion beam 처리 후 AlN layer를 완충층으로 이용하여 성장시킨 GaN의 특성

강민구 ,  진정근 ,  이재석 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

이온빔을 이용한 STS304와 알루미나 브레이징 접합효과

박일수

한국산학기술학회 논문지

2015 .12

InGaN/GaN Single Quantum Well의 광학적 특성 및 전기적 특성의 변화에 미치는 ion beam 조사의 영향

최승규 ,  장재민 ,  정우광

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Surface Characteristics and Ion Release Behavior of Mg Ion Coated Dental Implant Formed by Ion Beam Assisted Deposition

Seung-Kyun Moon ,  Jae-Sung Kwon ,  Soo-Hyuk Uhm 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

BCl3를 이용한 GaN계 질화합물 반도체의 RIE에 관한 연구 ( Studies on Reactive Ion Etching of GaN using BCI3 )

윤관기 ,  최용석 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

Self-Separation 방법을 적용한 고품질 Free-Standing GaN

손호기 ,  이영진 ,  김진호 외 3명

전기전자재료학회논문지

2016 .01

Properties of AlGaN/GaN as Al contents grown on sapphire(0001) by MOCVD

박현규 ,  강호재 ,  진정근 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

The Growth of GaN Depending on Initial Layers of Sapphire Substrate by Hot Wall Epitaxy

Gyong Nam Jeon ,  Keung Jun Lee ,  Han Sol Kang 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Growth and Characteristics of Near-UV LED Structures on Wet-etched Patterned Sapphire Substrate

Hung-Seob Cheong ,  Chang-Hee Hong

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2006 .09

GaN 증착용 사파이어 웨이퍼의 표면가공에 따른 압흔 특성

신귀수 ,  황성원 ,  김근주

대한기계학회 논문집 A권

2005 .04

Characteristics of Be doped GaN growth using single GaN precursor

Gao ,  Cun-Xu ,  Yu 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01