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기상증착과 PECVD를 이용한 불화 유기박막의 증착
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF GaN USING a REMOTE PLASMA ENHANCEMENT
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
Deposition of Silicon Films at Low Temperature with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ( RPECVD )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
플라즈마 진단에 의한 PECVD SiO₂ 증착의 불균일성 원인 연구
전기전자재료학회논문지
2011 .01
RF-PECVD법에 의한 Ti-Si-N 박막의 증착거동
한국표면공학회지
2002 .08
화학기상증착법으로 성장시킨 산화티타늄 박막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
Remote HF PECVD 공정을 이용한 Textured ZnO 박막증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
가스 유량과 RF Power에 따라 PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition During Outside Vapor Deposition Process )
대한전자공학회 학술대회
1993 .01
광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition during Outside Vapor Deposition Process )
한국통신학회 광전자공학 학술회의
1993 .01
PLASMA ASSISTED DEPOSITION OF $SiO_2$ FILMS
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
MPCVD에 의해 합성된 다이아몬드 박막 특성에 대한 증착조건의 영향
전기학회논문지 P
2002 .03
Fe3O4 박막의 증착 속도에 따른 광학적 특성 변화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착
한국표면공학회지
2002 .04
Growth of GaN on ( 0001 ) Sapphire Substrates by Remote Plasma-Enhanced Metal-Organic Chemical Vapor Deposition
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착
한국정보통신학회논문지
2007 .11
$N_2O$ gas pre-treatment 효과에 의한 PECVD 산화막 특성
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
AN EXPERIMENTAL STUDY OF PARTICLE DEPOSITION DURING THE OUTSIDE VAPOR DEPOSITION PROCESS
KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference
1996 .10
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