Growth of GaN on ( 0001 ) Sapphire Substrates by Remote Plasma-Enhanced Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

손철수 ,  김민홍 ,  이재형 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF GaN USING a REMOTE PLASMA ENHANCEMENT

Choi ,  Sung-Woo ,  Cho 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Low-temperature epitaxial Ge layer growth on Si(100) substrate

신건욱 ,  김현우 ,  윤의준

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Fabrication of Low Temperature Si Pn Diode by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

황기현 ,  박진원 ,  김진양 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Deposition of Silicon Films at Low Temperature with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ( RPECVD )

Sung Woo Lee ,  Shi Woo Rhee

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

SAPPHIRE SURFACE MODIFIED BY REACTIVE ION BEAM FOR GaN DEPOSITIONS

Kim ,  H.J. ,  Pa 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Plasma-assisted MBE 를 이용한 GaN/sapphire 단일층의 성장과 분석

임재문 ,  박창영 ,  박광욱 외 1명

한국통신학회 기타 간행물

2009 .12

Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )

정윤권 ,  정문식 ,  김흥락 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .08

In Situ Boron Doping of Si Epitaxial Layers by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

박진원 ,  황기현 ,  주성재 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Crystal Growth and Properties of GaN Layers on Sapphire Substrate

김선태 ,  문동찬 ,  최원진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

SILICON NANO-STRUCTURES VIA SELECTIVE SURFACE CHEMICAL REACTIONS UNDER ULTRAHIGH VACUUM

Yun ,  Wan-Soo ,  Ha 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Low-Temperature Chemical-Vapor Deposition - A NOVEL THIN-FILM TRANSISTOR PROCESS -

Masakiyo Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Modeling the Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Process Using Polynomial Neural Networks

Seung-Soo Han

한국지능시스템학회 논문지

1999 .04

Synthesis of Carbon Nanotubes by Using Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition at Low Temperature

Kim ,  Young-Rae ,  Jang 외 13명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01

Hydride Vapor Phase Epitaxy를 이용한 Sapphire기판 상에 GaN후막의 성장특성에 관한 연구

이정욱 ,  유지범 ,  변동진 외 1명

한국재료학회지

1997 .01

Electrical Properties in Si-Doped GaN by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

Sam Kyu Noh ,  Cheul Ro Lee ,  In Hwan Lee 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Direct Chemical Vapor Deposition Growth of ReS2 on Graphene

서지형 ,  이정현 ,  박혜성

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10

Effect of substrate temperature on the morphology and water vapor transmission property of ZnO film on polymer substrate by plasma enhanced chemical vapor deposition

송준용 ,  정현옥 ,  박규대 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04

Mg-Doped GaN/Sapphire 구조로 제작된 압전 박막 SAW 필터의 특성분석

장철영 ,  정은자 ,  정영철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07