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목차
Abstract
1. INTRODUCTION
2. EXPERIMENT
3. RESULTS AND DISCUSSION
4. CONCLUSION
5. ACKNOWLEDGEMENTS
REFERENCES
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MO-COMPOUNDS AN A DIFFUSION BARRIER BETWEEN Cu AND Si
한국표면공학회지
1996 .12
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Reactive-Sputtered TiN Diffusion Barriers의 광학적 특성에 관한 연구 ( Optical Properties of TiN Diffusion Barriers Deposited by Reactive Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
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고 Si 구상흑연주철의 조직과 기계적성질에 미치는 Si과 Mo의 영향
한국주조공학회지 (주조)
1990 .01
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Sputtering 방법에 의하여 증착된 Si₃N₄ 기체 투과 방지 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
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Multi-Target Sputtering을 이용한 Mo/Si X-ray 반사형 다층박막 증착에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
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Ti/Si의 조성비율이 다른 타겟을 이용한 sputtered Ti-Si-N 박막의 증착특성 연구
한국재료학회지
2001 .01
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Cu와 Si간의 확산방지막으로서의 Ti-Si-N에 관한 연구
한국재료학회지
2001 .01
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하이브리드 코팅시스템에 의해 제조된 Cr-Mo-Si-C-N 박막의 미세구조 및 기계적 특성연구
한국표면공학회지
2007 .12
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Cu diffusion barrier로서의 Ta-Si-N 화합물의 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
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자동차 부품용 내열, 고온 내산화성 고Si 구상흑연주철의 제조기술개발
한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집
1996 .06
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Reactive-Sputtered TiN Diffusion Barriers의 광학적 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
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극저 C-Si-Mn-Ni-Mo 용착금속에 있어 Mo의 영향 ( The effect of Mo in the low C-Si-Mn-Ni-Mo weld metal )
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
1999 .01
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혼합기체 sputtering 법으로 증착된 Cu 확산방지막으로의 Ti-Si-N 박막의 특성 연구
한국재료학회지
1999 .01
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Magnetron Sputtering 법을 이용한 Mo-Cu 박막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .07
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하이브리드 코팅시스템에 의해 제조된 Mo-Si-N 박막의 미세구조 및 기계적 특성연구
한국표면공학회지
2006 .06
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차세대 초고온 합금인 Mo-Si-B 합금의 연구 동향
한국분말야금학회지
2019 .01
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MOS 구조의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1986 .07
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동작속도가 빠른 Mo2N/Mo 게이트 MOS 집적회로 ( High Speed Mo2N/Mo-Gate MOS Integrated Circuit )
전자공학회지
1985 .07
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Magnetron 스퍼터링으로 제조된 Mo 화합물의 건식식각 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
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새로운 고경도 Ti-Mo-Si-N 코팅막의 합성 및 기계적 특성
한국표면공학회지
2006 .12
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