지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Titanium nitride(TiN) thin films have been deposited on PEN(Polyethylene naphthalate) substrate by reactive RF(13.56 ㎒) magnetron sputtering in a 25% N₂/Ar mixed gas atmosphere. The pulsed DC bias voltage of -50V on substrates was applied with a frequency of 350 ㎑, and duty ratio of 40%(1.1 ㎲). The effects of pulsed DC substrate bias voltage on the crystallinity, color, electrical properties of TiN<SUB>x</SUB> films have been investigated using XRD, SEM, XPS and measurement of the electrical properties such as electrical conductivity, carrier concentration, mobility. The deposition rates of TiNx films was decreased with application of the pulsed DC substrate bias voltage. The TiN<SUB>x</SUB> films deposited without and with pulsed bias of -50V to substrate exhibits gray and gold colors, respectively. XPS depth profiling revealed that the introduction of the substrate bias voltage resulted in decreasing oxygen concentration in TiN<SUB>x</SUB> films, and increasing the electrical conductivities, carrier concentration, and mobility to about 10 times, 5 times, and 2 times degree, respectively.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (35)
참고문헌 신청
H. C. Chen, B.H. Tseng, M. P. Houng, Y. H. Wang, Titanium nitride diffusion barrier for copper metallization on gallium arsenide, Thin Solid Films, 445(1) (2003) 112-117
C. Muratore, J. J. Hu, A. A. Voevodin, Adaptive nanocomposite coatings with a titanium nitride diffusion barrier mask for high-temperature tribological applications, Thin Solid Films, 515(7- 8) (2007) 3638-3643
L. Walter, Properties of bulk δ-TiN1-x prepared by nitrogen diffusion into titanium metal, J. Alloy and Compounds, 186(2) (1992) 293-307.
C. F. Hsieh, S. Jou, Titanium nitride electrodes for micro-gap discharge, Microelectronics Journal, 37(9) (2006) 867-870.
Z. Peng et. al., Hard, wear-resistant Titanium nitride films for ceramic cutting tools by pulsed high energy density plasma, Surface and Coatings Technology, 166(2-3) (2003) 183-188.
C. Muratore, J. J. Hu, A. A. Voevodin, Adaptive nanocomposite coatings with a titanium nitride diffusion barrier mask for high-temperature tribological applications, Thin Solid Films, 515(7- 8) (2007) 3638-3643
L. Walter, Properties of bulk δ-TiN1-x prepared by nitrogen diffusion into titanium metal, J. Alloy and Compounds, 186(2) (1992) 293-307.
C. F. Hsieh, S. Jou, Titanium nitride electrodes for micro-gap discharge, Microelectronics Journal, 37(9) (2006) 867-870.
Z. Peng et. al., Hard, wear-resistant Titanium nitride films for ceramic cutting tools by pulsed high energy density plasma, Surface and Coatings Technology, 166(2-3) (2003) 183-188.
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
EFFECT OF O₂ REACTIVE SPUTTERING GAS ON RF-SPUTTERED Ni-SDC ANODES FOR INTERMEDIATE TEMPERATURE SOILD OXIDE FUEL CELLS
AFORE
2015 .11
-
DC/RF 중첩형 반응성 스퍼터링을 이용하여 증착한 열변색 VO₂ 박막의 특성연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
-
RF reactive 스퍼터링으로 증착된 TiO₂ 기반 페로브스카이트 태양 전지
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .04
-
직류 마그네트론 스퍼터링 공정 중 타겟 오염에 따른 박막 및 계면 형성 특성
반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
-
RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
-
RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
-
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향
Current Photovoltaic Research
2020 .03
-
DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
-
PET 기판 위에 RF magnetron sputtering으로 증착한 AZO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
-
RF sputter를 이용한 실리카 증착 고 내구성 반사 방지막 제조
한국표면공학회지
2019 .04
-
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 FeS₂ 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 RF 파워의 영향
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2018 .11
-
탄소섬유 물리적 특성 향상을 위한 스퍼터링 탄소박막의특성에 대한 연구
전기전자재료학회논문지
2015 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 박막 증착에 관한 연구
한국정보전자통신기술학회 논문지
2018 .12
-
Direct Formation of 2-dimensional Molybdenum Disulfide Thin Films by RF Sputtering and Rapid Thermal Annealing on Sapphire Substrate
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2018 .04
-
Effect of RF Sputtering Power on the Electrical Properties of Si–In–Zn–O Thin Film Transistors
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2019 .01
-
RF 프론트엔드 모듈 구현을 위한 고 전력 RF 스위치 기술 개발
대한전자공학회 학술대회
2016 .06
-
RF reactive 스퍼터링으로 증착한 TiO₂ 박막 특성 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2021 .05
-
향상된 산소 환원 반응을 위한 RF/DC 스퍼터링 방법을 이용한 저온형 고체산화물 연료전지 제조
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
-
RF-sputter를 이용하여 (001)Si 기판위에 성장한 ZnO박막에 성장온도, 공정가스비, 저온버퍼가 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .11
-
Reactive DC Sputtering으로 증착한 Smart window용 TiO₂의 전기변색적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
Ti-based 세라믹 박막 코팅에 대한 UHMWPE의 트라이볼로지 특성 연구
김환
,
이권용
,
이건환
외 1명
한국트라이볼로지학회 학술대회
2013
.10
니켈기 경질 용사코팅의 마모거동에 미치는 공정조건의 영향
김균택
,
김영식
Tribology and Lubricants
2010
.06
니켈기 자융성 합금 코팅층의 마모거동에 미치는 후열처리 조건의 영향
김균택
,
김영식
,
오명석
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2006
.11
나노 인덴테이션 시험의 원리 및 응용
한준희
,
이광렬
,
김광석
외 1명
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002
.03
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2020-581-000429103