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제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제12권 제11호
발행연도
2006.11
수록면
1,095 - 1,101 (7page)

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2006

클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어
김유진 ,  신동헌 제어로봇시스템학회 논문지 2006.11 학술저널
클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어
김유진 ,  신동헌 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.10 학술대회자료

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목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 제어유닛에서 웨이퍼의 위치 검출
Ⅲ. 위치인식을 이용한 웨이퍼의 정지 제어
Ⅳ. 시뮬레이션
Ⅴ. 실험
Ⅵ. 결론
참고문헌

참고문헌 (9)

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1. [학술지(정기간행물)] - J. A. Paivanas / 1979 / Air film system for handling semiconductor wafers 23 : 361 ~ 375 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - M. Toda / 1992 / Wafer transportation through a tunnel filled whit nitrogen gas : 173 ~ 183 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - M. Toda / 1997. / N2 Tunnel Wafer Transport System : 493 ~ 498 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - S. S. RAO / 1995. / MECANICAL VIBRATIONS, Third ed. : 128 ~ 146 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - T. Ohmi / 1989 / Future Trends and Application of Ultra Clean Technology : 49 ~ 52 google schola

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