SOI 웨이퍼 제조공정의 온도해석

정경훈 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2000 .05

접합형 SOI 웨이퍼에 존재하는 결함분포

이곤섭 ,  박정민 ,  이재선 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

SOI 웨이퍼의 열적거동 해석

정경훈 ,  김옥삼

한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집

2000 .05

Bonded SOI 웨이퍼 제조를 위한 기초연구

문도민 ,  강성건 ,  류근걸 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1997 .05

접합 SOI 웨이퍼내의 계면고찰

홍필영 ,  문동찬 ,  강성건 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

SOI 기술의 이해와 고찰: 소자 특성 및 공정, 웨이퍼 제조

최광수

한국재료학회지

2005 .01

수소 플라즈마를 이용한 SOI 기판 제작 및 SOI 전력용 반도체 소자 제작에 관한 연구

성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .11

SOI웨이퍼를 이용한 마이크로가속도계 센서의 열응력해석(Ⅰ)

김옥삼

동력시스템공학회지

2001 .05

DLTS 측정에 의한 접합 SOI 웨이퍼내의 결함 분석

김홍락 ,  강성건 ,  이성호 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

SOI 웨이퍼에 기반한 가스 센서용 실리콘 마이크로 히터 설계

조인철 ,  강경남 ,  박인규

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .11

SOI 웨이퍼의 시드 홀을 이용한 다이오드의 항복 전압과 온 저항 특성

邊大錫 ,  韓民九 ,  崔然益

전기학회논문지

1995 .08

SOI웨이퍼의 마이크로가속도계 센서에 대한 열변형 유한요소해석

김옥삼 ,  구본권 ,  김일수 외 2명

한국생산제조학회지

2002 .08

A TREND OF SOI WAFER TECHNOLOGY FOR THE NEXT GENERATION DEVICE APPLICATIONS

Ryoo ,  Kun-Kul

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

박막 MOS커패시터의 C-V 특성을 이용한 SOI 웨이퍼의 평가 ( Evaluation of SOI Wafers Using C-V Characteristics of Thin-Fillm MOS Capacitor )

이종욱 ,  양지운 ,  이원창 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

Bonded SOI wafer의 top Si과 buried oxide layer의 결함에 대한 연구

김석구 ,  백운규 ,  박재근

한국재료학회지

2004 .01

SOI Wafer를 사용한 트렌치 구조의 수직 Hall 소자의 제작

박병휘 ,  정우철 ,  남태철

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

Dependency of SOI & BOX Thickness on trap density of SOI wafers n Pseudo MOS Transistor

손주환 ,  민병호 ,  권종성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

Thin Wafer를 이용한 Triple direct bonding에 관한 연구

이현기 ,  정호필 ,  윤상기 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .11

수소 플라즈마에 의해 표면 활성화된 실리콘 기판을 이용한 SOI 기판 제작에 관한 연구

최우범 ,  주철민 ,  이종석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07