클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어

김유진; 신동헌

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김유진 신동헌

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문요약집

발행연도: 2006.10

수록면: 611 - 612 (2page)

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2006

클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어

김유진 , 신동헌 제어로봇시스템학회 논문지 2006.11 학술저널

클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어

김유진 , 신동헌 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.10 학술대회자료

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김유진

소속기관 한호산업

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 13 이용수 422

Dong Hun Shin

소속기관 서울시립대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 제어계측공학

논문수 21 이용수 2,161

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