클린튜브 시스템의 웨이퍼 운동 제어

신동헌 ,  최철환 ,  정규식

설비공학논문집

2004 .05

클린 튜브 시스템 이송 유닛의 웨이퍼 운동 역학 모델링

신동헌 ,  정규식 ,  윤정용

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2004 .03

Copper 오염 최소화를 위한 Wafer Cleaning 공정 최적화

김서현 ,  홍진석 ,  전용명 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어

김유진 ,  신동헌

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

Wafer Plasma Bevel Cleaning 장비용 핵심부품 세정기술

정나겸 ,  김상준 ,  김훈식 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

ANALYSIS OF TUBE DRAWING WITH A FLOATING PLUG

Joachim Dancke ,  t ,  Benny Endelt

기타자료

2008 .09

Development of Multi-Chemical Supply System for Semiconductor Wafer Cleaning Station

Myung-Jin Chung ,  Young-Wook Song

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2005 .06

태양광 웨이퍼 세정공정의 표면 금속오염 제어 연구

이경무 ,  정진수 ,  김창수 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2014 .05

Wafer 낱장 반송용 이동 로봇의 개발

성학경 ,  이성현 ,  김성권

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

Wafer 낱장 반송용 이동 로봇의 개발

성학경 ,  이성현 ,  김성권

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어

김유진 ,  신동헌

제어로봇시스템학회 논문지

2006 .11

Current Float Model에 의한 제한 자원할당에 관한 연구 ( A Study on Limited Resource Allocation by Current Float Model )

강현규 ,  손창백 ,  신현식

대한건축학회 학술발표대회 논문집 - 구조계

1992 .10

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

CLEAN ROOM의 설계

김문정

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1979 .09

Automated Wafer Separation from the Stacked Array of Solar Cell Silicon Wafers Using Continuous Water Jet

Kim ,  Kyoung-Jin ,  Kim 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

CLEAN ROOM 관리

정순봉

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1979 .09

EFFECT OF FLOATING FOUNDATION MOTION ON THE AERODYNAMIC CHARACTERISTICS OF THE FLOATING OFFSHORE WIND TURBINE

Shen Yiping ,  Han Qingkai ,  Tang Shihao 외 2명

AFORE

2015 .11

퍼지 논리를 이용한 웨이퍼의 사이즈 추정 알고리즘

권오진 ,  최성주 ,  조현찬 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

Floating-Point Number Processor 설계 ( The Design of Floating-point Unit )

최상훈 ,  최병윤 ,  이광엽 외 4명

한국통신학회 학술대회논문집

1990 .01