지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
1. 서론
2. 클린룸 방식 및 시스템 설계
3. 반도체 공정과 클린룸 환경제어
4. 클린룸 공조 및 에너지 대책
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
클린룸 공조 및 환경 시스템
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
1991 .09
-
병원 클린룸 공조 시스템
공기청정기술
2003 .01
-
에너지 절감을 위한 바이오 클린룸용 공조 및 제어 시스템
설비저널
2012 .05
-
클린룸 최신 기술의 심층분석 - 바이오 클린룸용 에너지 절감을 위한 공조 시스템
공기청정기술
2015 .01
-
에너지 절감을 위한 클린룸 공조 기술
설비저널
2017 .05
-
슈퍼클린룸 공조환경설비
대한기계학회지
1992 .03
-
클린룸의 자동제어
공기청정기술
1990 .01
-
클린룸 성능시험
공기청정기술
1988 .01
-
병원의 클린룸 공조설비 계획
설비저널
2008 .08
-
클린룸의 가스 제어기술
냉동공조기술
1997 .01
-
클린룸 설계에 관한 기본사항
건축사
1991 .01
-
클린룸의 필터제어 기술
냉동공조기술
1997 .01
-
클린룸 오염 측정, 분석 및 제어
공기청정기술
2005 .01
-
클린룸의 성능평가
공기청정기술
2005 .01
-
클린룸에 있어서의 측정과 평가
설비공사
1992 .01
-
반도체 클린룸용 외기공조시스템의 에너지소비량 실시간 비교를 위한 Twin 클린룸 기초실험
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .05
-
산업용 클린룸의 설계
냉동공조기술
1997 .01
-
클린룸 품질인증 운영규정-CLEAN ROOM
공기청정기술
2006 .01
-
반도체 클린룸용 외기공조시스템의 에너지절감량 비교를 위한 Twin 클린룸 기초실험
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2012 .06
-
클린 터널형 클린룸의 유동 특성에 관한 실험적 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
1988 .11
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-553-015266749