지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.5
- 수록면
- 632 - 641 (10page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
본 논문에서는 반도체 생산 공정 중 클리닝 공정 설비에서, 웨이퍼의 장착 위치를 인식하는 영상 인식 시스템을 제안한다. 제안한 시스템은 웨이퍼의 위치 이탈에 따른 위치오차 발생 시 이를 클리닝 설비에 전달하여, 웨이퍼 클리닝 장비의 파손을 방지하여 시스템의 신뢰성과 경제성을 높이기 위한 것이다. 제안한 방법은 기존의 시스템에서 체스보드 형태의 캘리브레이터를 사용시 발생되는 오차를 줄이기 위하여 방사형 캘리브레이터를 디자인 및 제작하고 이의 매핑합수를 구하는데 있다. 제안한 시스템은 고 신뢰성과 고 정밀의 위치인식 알고리즘을 사용하여, 효율적으로 웨이퍼 인라인 공정에 설치함을 목표로 하며 실험결과 기존의 방법에 비해 충분한 허용 기준 내에서 오차를 검출해내는 좋은 성능을 보여준다.
목차
요약
ABSTRACT
1. 서론
2. 시스템의 구성
3. 제안한 위치인식 시스템
4. 실험 결과
5. 결론 및 향후 연구
참고문헌
참고문헌 (13)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - J. Leavey / 1998 / Mask and Wafer Inspection and Cleaning for Proximity x-ray Lithography / Proc. SPIE, Emerging Lithographic Technologies II 3331 : 179 ~ 188
2. [학술대회논문] - G. Ducotey / 2008 / In-Line Methodology for Defectivity Analysis from Dark Field Wafer Inspection to Defect Root Cause Analysis Using FIB Cut / IEEE Advanced Semiconductor Manufacturing Conference(ASMC) : 138 ~ 141
4. [학술지(정기간행물)] - F. H. Y. Chan / 1998 / Adaptive Thresholding by Variation Method / IEEE Transaction on Image Processing 2 (3) : 147 ~ 168
5. [단행본] - R. Hartley / 2004 / Multiple View Geometry in Computer Vision, 2nd Edition / Cambridge University Press
6. [학술지(정기간행물)] - J. Weng / 1992 / Camera Calibration with Distortion Models and Accuracy evaluation / IEEE Trans. Pattern Analysis and Machine Intelligence 14 (10) : 965 ~ 980
2. [학술대회논문] - G. Ducotey / 2008 / In-Line Methodology for Defectivity Analysis from Dark Field Wafer Inspection to Defect Root Cause Analysis Using FIB Cut / IEEE Advanced Semiconductor Manufacturing Conference(ASMC) : 138 ~ 141
4. [학술지(정기간행물)] - F. H. Y. Chan / 1998 / Adaptive Thresholding by Variation Method / IEEE Transaction on Image Processing 2 (3) : 147 ~ 168
5. [단행본] - R. Hartley / 2004 / Multiple View Geometry in Computer Vision, 2nd Edition / Cambridge University Press
6. [학술지(정기간행물)] - J. Weng / 1992 / Camera Calibration with Distortion Models and Accuracy evaluation / IEEE Trans. Pattern Analysis and Machine Intelligence 14 (10) : 965 ~ 980
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-004-000789876