Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발

김종원 ,  고진석

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발

곽동근 ,  이동혁 ,  이재민 외 5명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지

박재선 ,  김준홍 ,  김형석 외 2명

대한산업공학회지

2018 .08

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회지

2015 .12

Flow analysis for fan-in/fan-out wafer level package coating process

Junsoo Shin ,  Joo-Pyo Hong ,  Seungmo Kim

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정

윤하영 ,  임재승 ,  한성흠 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

다중 분리 처리 방식의 로봇 기반 Wafer Cleaning Bath 개발

지연정 ,  박종익 ,  이용환 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2022 .06

Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구

정종완 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

반도체 팹에서의 투입 로트 구성을 위한 다차원 동적계획 알고리듬

방준영 ,  임승길 ,  김재곤

산업경영시스템학회지

2016 .01

구조 안정성 향상을 위한 Wafer Grinder의 설계 개선

신윤호 ,  노승훈 ,  윤현진 외 4명

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

CVD Chamber 방사율 변화에 따른 Wafer 온도에 대한 수치해석적 연구

유승관 ,  김승모

한국생산제조학회지

2024 .08

태양전지 웨이퍼용 Wire Saw안정화를 위한 지지구조 개선

이일환 ,  노승훈 ,  김동욱 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템

김영형 ,  박종익 ,  황영광 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2023 .11

다중센서 융합에 의한 SiC 웨이퍼 연삭 공정 상태 감시

황경환 ,  김동한 ,  이상직

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Laser-based internal modification process for SiC wafer thinning

Jae-Seung Lim ,  Seungman Kim ,  Jae-hak Lee 외 5명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2020 .10

웨이퍼 이송시 스크래치 방지를 위한 웨이퍼이송로봇 기울기 보정에 관한 연구

지용경 ,  사이풀 ,  최성순 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11