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화학증착 시스템에서의 파이프내 오염입자 관찰을 위한 초음파 및 진동 진단법의 비교연구
Applied Science and Convergence Technology
2006 .07
파이프형 포장
베이커리
1997 .01
CVD 공정의 전구체 잔존량 실시간 진단방법 연구
Applied Science and Convergence Technology
2005 .09
BPSG 및 PSG CVD 공정 중 발생하는 오염입자 발생특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Direct Deposition of microcrystalline Si Films at Low Temperatures (<200 ℃) by Catalytic CVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
CVD precursor 잔존량 진단장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술
진공이야기
2014 .09
Growth and NO₂ sensing properties of CS₂SnI6 thin film synthesized by non-solution method
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
CVD에 의한 Ta₂O5 박막의 성장및 물성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
도시지역 입자성 물질 및 중금속에 의한 오염 연구 : 자기적 방법을 이용한 서울시 오염의 시-공간적 변화 고찰
대한지질학회 학술대회
2006 .10
열 CVD법에 의한 GaN nanowire 합성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
반도체 및 디스플레이 공정에서 발생하는 오염입자 측정을 위한 PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer)개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
CVD로 성장한 ZnS의 깊이 방향 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
CVD 방법으로 성장된 MOS₂의 도핑에 따른 가스 센싱 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
새로운 Ge 전구체의 CVD 증착 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
나노입자를 이용한 유전자 진단 기술
유전체소식
2006 .01
열분해 반응기 내에서의 Si 오염입자에 관한 수치해석적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Growth and Characterization of Graphene Controlled by Cooling Profile Using Near IR CVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
환경오염
생명과학
1994 .12
Production of Diamond Below 100℃ - By Plasma CVD Technique -
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
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