Pulse - CVD를 이용한 gate용 Ta₂O5 박막의 증착 및 특성분석

배근학 ,  김진모 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

RF-스퍼터링 기법으로 제작한 Fe₃O₄ 박막에 Ta 기저층이 미치는 효과

국지현 ,  이년종 ,  배유정 외 1명

한국자기학회지

2015 .04

화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술

홍완식

진공이야기

2014 .09

Direct Deposition of microcrystalline Si Films at Low Temperatures (＜200 ℃) by Catalytic CVD

Tae-Hwan Kim ,  Kyung-Min Lee ,  Sunghwan Won 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

[(Fe78.8Ta8.5)N / Fe78.8Ta8.5N12.7]₃ 적층박막의 주파수특성과 자기적 특성에 관한 연구

김충식 ,  배석 ,  정종한 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1999 .10

Ag/Ta/glass 다층박막의 Ta seeding이 전기적 광학적 특성에 미치는 효과

박선호 ,  조현철 ,  이기선

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Growth and NO₂ sensing properties of CS₂SnI₆ thin film synthesized by non-solution method

Phung Dinh Hoat ,  Hyojun Lim ,  Pham Tien Hung 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Growth and Characterization of Graphene Controlled by Cooling Profile Using Near IR CVD

박윤재 ,  임영진 ,  김진환 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

ICP - CVD로 증착된 a-C : F 박막의 특성 연구

강권삼 ,  고호정 ,  최치규

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Thermal CVD 방법에 의한 SiC 동종박막 성장에 관한 연구

장성주 ,  설운학 ,  정준익 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

CVD로 성장한 ZnS의 깊이 방향 특성 분석

한원석 ,  김성복 ,  권인회 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

미세 입자에 의한 thermal asperity의 민감도 해석 및 감소 방안

좌성훈

한국자기학회지

2000 .12

CVD 법에 의한 cerium silicate 박막의 성장

이진욱 ,  유승호 ,  최원철 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

Hybrid FVA증착법에 의해 합성된 ta - C / ta - C : Si 다층 박막에 관한 연구

이철승 ,  이광렬 ,  윤기현

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Thermal - CVD를 이용한 미세결정성 carbon 박막의 증착

조정민 ,  조영옥 ,  윤원주 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

CVD 방법으로 성장된 MOS₂의 도핑에 따른 가스 센싱 특성 비교

박재서 ,  문지훈 ,  정대화 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

CVD 성장한 MoS₂ 박막의 광전류 특성 연구

권소영 ,  송정은 ,  김은아 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Growth and structure of GaP nanowire using thermal CVD

류승철 ,  서승환 ,  이철진 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06