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저자정보
나정길 (성균관대학교) 김태성 (성균관대학교) 최재붕 (성균관대학교) 김영진 (성균관대학교) 윤주영 (한국표준과학연구원) 강상우 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제35회 하계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.8
수록면
86 - 86 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2009

Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
나정길 ,  김태성 ,  최재붕 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료
TDMAT precursor를 이용한 MOCVD 증착 공정 중 발생하는 오염입자 실시간 측정에 관한 연구
나정길 ,  김태성 ,  최재붕 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

2008

TiN 증착을 위한 MOCVD 공정 중 열분해에 따른 Precursor 진단 및 오염입자 발생에 관한 연구
나정길 ,  김태성 ,  최재붕 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료

2007

저압공정 중 발생하는 나노입자 실시간 측정장비에 관한 연구
나정길 ,  조대근 ,  최재붕 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2007.11 학술저널
저압공정 중 발생하는 나노입자의 실시간 측정장비에 관한 연구
나정길 ,  조대근 ,  최재붕 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료

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나정길 ,  김태성 ,  최재붕 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 .02

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