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고굴절률 PECVD SiNx 박막의 성장 및 그 표면특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
PECVD를 이용한 가스비에 따른 SiNx Passivation 효과 실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
PECVD 방법을 이용한 DLC 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
PECVD 플라즈마 파워 가변에 따른 SiNx 증착 및 결정질 태양전지 효율 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
PECVD를 이용한 결정질 태양전지 표면 반사방지막의 최적화
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Optical Properties Analysis of SiNx Double Layer Anti Reflection Coating by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
200℃의 저온에서 PECVD 기법으로 성장한 SiNx 박막의 열처리에 따른 광학적 특성 변화 규명
Applied Science and Convergence Technology
2011 .01
Low Temperature PECVD process for SiNx/Organic Multilayer Thin Film Encapsulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
p - Xylene precursor를 사용한 low k 유기박막의 PECVD 증착 및 전기적특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
입체표면형상 구조위에 PECVD로 증착된 Ta₂O5 유전박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
후면 passivation 박막으로 Rapid Thermal Oxide를 적용한 Local Back Contact Cell 제작에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
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