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p - Xylene precursor를 사용한 low k 유기박막의 PECVD 증착 및 전기적특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 증착온도 가변에 따른 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
PECVD 방법을 이용한 DLC 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
PECVD법에 의해 증착된 plasma polymerized ethylenediamine 박막의 표면 - NH₂ 밀도와 증착변수와의 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
PECVD 증착 변수와 in - situ IR cell 을 이용한 온도별 a - Si : H 의 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
E- beam 증착법으로 증착된 Sn/In 박막의 전기적/광학적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
PECVD를 이용하여 질소분위기에서 증착된 SiNx 박막의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Toluene을 precursor로 사용한 plasma enhanced chemical vapor deposition에 의한 실리콘 집적회로용 저 유전상수(low - k) 유사중합체 유기박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
PECVD를 이용한 SiO₂ 증착에서 전극 간격에 따른 증착률과 균일도 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
증착온도에 따른 Fe 박막의 구조적, 자기적 특성 변화 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .11
PECVD로 증착된 a - Si : H의 고상결정화에 있어서 기판온도의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
입체표면형상 구조위에 PECVD로 증착된 Ta₂O5 유전박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
진공증착법을 이용한 최적의 압전성 유기 박막의 제조와 스위치 특성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1999 .08
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