PECVD 플라즈마 파워 가변에 따른 SiNx 증착 및 결정질 태양전지 효율 향상에 관한 연구

공대영; 권태영; 박형식; 장경수; 정성욱; 최병덕; 이준신

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 공대영 (성균관대학교) 권태영 (성균관대학교) 박형식 (성균관대학교) 장경수 (성균관대학교) 정성욱 (성균관대학교) 최병덕 (성균관대학교) 이준신 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2009.8

수록면: 291 - 291 (1page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

결정질 태양전지 적용을 위한 SiNx 이중구조 반사방지막에 관한 연구

공대영 , 박승만 , 이준신 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2010.06 학술대회자료

2009

PECVD 플라즈마 파워 가변에 따른 SiNx 증착 및 결정질 태양전지 효율 향상에 관한 연구

공대영 , 권태영 , 박형식 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료

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공대영

소속기관 경북대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 53 이용수 3,002

권태영

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 자연과학 > 물리학

논문수 8 이용수 352

Hyeongsik Park

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학

논문수 46 이용수 2,067

장경수

소속기관 충북대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 건축공학 > 토목공학

논문수 98 이용수 4,222

정성욱

소속기관 한국전자통신연구원

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학 TOP 1% 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 81 이용수 4,827

Byoung-deog Choi

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 211 이용수 9,884

이준신

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학 TOP 5% 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 TOP 5%

논문수 406 이용수 24,328

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