PECVD 장비를 이용해 증착시킨 DLC 박막의 첨가원소(a-C:H:X)에 따른 기계적 특성

김준형 ,  문경일 ,  박종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

PECVD 장비를 이용해 증착시킨 DLC 박막의 첨가원소(a-C:H:X)에 따른 고내식, 내열 특성

김준형 ,  문경일 ,  박종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

복층구조로 증착시킨 DLC 박막의 기계적 특성 분석

조윤혜 ,  최원석 ,  박용섭 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

이온빔 증착에 의한 DLC 박막의 제조 및 특성

정재인 ,  양지훈 ,  박영희 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Ti-DLC 증착 방법에 따른 특성 비교

이나래 ,  박현준 ,  문경일 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화

조영옥 ,  노옥환 ,  윤원주 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

이온빔 보조증착에 의한 DLC 박막의 특성

박형국 ,  정재인 ,  문종호 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구

이중환 ,  권오준 ,  전무식 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

ECR - PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기판 Bias 전압 효과

손영호 ,  정우철 ,  강종석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

DLC 증착 효율 향상을 위한 DBD표면처리 특성 및 증착된 DLC 특성 분석

양종근 ,  고민국 ,  Rai Su 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

DLC 박막의 기계적 특성 평가

한준희 ,  이광렬 ,  김광석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Titanium 첨가 방법에 따른 DLC 특성 비교

이나래 ,  박현준 ,  문경일 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성

권영춘 ,  주종량 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Optimization and Application of Si-DLC Coating with Low Friction and High Hardness Property by Using PECVD Method

여기호 ,  문종철 ,  신의철 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

DLC박막 증착시 전처리 가스 종류와 유량 변화에 따른 효과

백일호 ,  이원백 ,  홍병유 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정

손영호 ,  허영준 ,  정우철 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화

오성재 ,  홍원의 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구

이용수 ,  성호근

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07