PECVD를 이용한 결정질 태양전지 표면 반사방지막의 최적화

이경동 ,  김영도 ,  박성은 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

고굴절률 PECVD SiNx 박막의 성장 및 그 표면특성 분석

추성중 ,  정재욱 ,  정의석 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

PECVD를 이용하여 질소분위기에서 증착된 SiNx 박막의 특성 분석

공대영 ,  박승만 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Nitric Acid를 이용한 SiNx/SiO2 Double Layer Passivation

최재우 ,  김현엽 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

후면 passivation 박막으로 Rapid Thermal Oxide를 적용한 Local Back Contact Cell 제작에 관한 연구

공대영 ,  박승만 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Optical Properties Analysis of SiNx Double Layer Anti Reflection Coating by PECVD

Daeyeong Gong ,  Seungman Pa ,  k 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Low Temperature PECVD process for SiNx/Organic Multilayer Thin Film Encapsulation

Hyung June Ahn ,  Sang Heon Yong ,  Sun Jung Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

PECVD를 이용한 SiNx 증착 조건에 따른 수소 패시베이션 개선 효과

조국현 ,  장효식

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Effects of chemical bondings on hydrogen passivation properties of PECVD SiNx in silicon solar cells

김재은 ,  배수현 ,  현지연 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Synthesis of SiNx:H films in PECVD using RF/UHF hybrid sources

K. S. Shin ,  B. B. Sahu ,  J. S. Lee 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

PECVD 플라즈마 파워 가변에 따른 SiNx 증착 및 결정질 태양전지 효율 향상에 관한 연구

공대영 ,  권태영 ,  박형식 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD

Jae Eun Kim ,  Kyung Dong Lee ,  Yoonmook Kang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Fourier transform infrared spectroscopy를 이용한 SiNx박막의 수소농도 연구

이석열 ,  최재하 ,  제지홍 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .05

SiNx의 Substrate temperature 와 gas ratio의 변화에 따른 특성

백경현 ,  장경수 ,  이원백 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

200℃의 저온에서 PECVD 기법으로 성장한 SiNx 박막의 열처리에 따른 광학적 특성 변화 규명

이경수 ,  김은겸 ,  손대호 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2011 .01

N₂O plasma growth ultra-thin tunnel oxide layer passivation by PECVD for high efficiency n-type Si solar cell

Minhan JEON ,  Jiyoon KANG ,  Donghyun OH 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Optimized ultra-thin tunnel oxide layer characteristics by PECVD using N₂O plasma growth for high efficiency n-type Si solar cell

Minhan Jeon ,  Jiyoon Kang ,  Donghyun Oh 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Inductive coupled plasma chemical vapor deposition system for SiNx : H passivation layer of top - emitting organic light - emitting diodes

김명수 ,  김한기 ,  이규성 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

결정질 실리콘 태양전지용 SiNx:H 박막 특성의 최적화 연구

이경동 ,  김영도 ,  Shailend 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

2012 .01