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PECVD를 이용한 가스비에 따른 SiNx Passivation 효과 실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
PECVD를 이용하여 질소분위기에서 증착된 SiNx 박막의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
고굴절률 PECVD SiNx 박막의 성장 및 그 표면특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
PECVD를 이용한 결정질 태양전지 표면 반사방지막의 최적화
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Low Temperature PECVD process for SiNx/Organic Multilayer Thin Film Encapsulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
200℃의 저온에서 PECVD 기법으로 성장한 SiNx 박막의 열처리에 따른 광학적 특성 변화 규명
Applied Science and Convergence Technology
2011 .01
Nitric Acid를 이용한 SiNx/SiO2 Double Layer Passivation
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
Synthesis of SiNx:H films in PECVD using RF/UHF hybrid sources
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
PECVD 플라즈마 파워 가변에 따른 SiNx 증착 및 결정질 태양전지 효율 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
A Brief Review of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Si₃N₄
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
Fourier transform infrared spectroscopy를 이용한 SiNx박막의 수소농도 연구
Applied Science and Convergence Technology
2008 .05
SiNx의 Substrate temperature 와 gas ratio의 변화에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
후면 passivation 박막으로 Rapid Thermal Oxide를 적용한 Local Back Contact Cell 제작에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Optical Properties of Anti-reflection Coating in Visible Range
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Plasma Optical Signal Analysis for SiNx Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Electrical properties of HfOxNy thin films deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
PECVD를 이용한 SiNx 증착 조건에 따른 수소 패시베이션 개선 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
두께 및 굴절률 변화와 이중층 구조에 따른 Anti-Reflection Layer의 특성변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Vertically Oriented Graphene Nanosheets Grown by PECVD Process for Flexible All Solid-State Electric Double Layer Capacitors
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
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