PECVD를 이용한 Si₃N₄ 박막의 공정변수에 따른 특성분석과 응용

신재완 ,  이복형 ,  이성대 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 제조 및 특성 평가

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

PECVD에 의한 μc-Si : H 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of μc-Si : H TFTs by PECVD )

문교호 ,  이재곤 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1996 .05

PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Optical Properties of Si nanocrystalline using PECVD

Hyeon Hun Yang ,  Han Wool Kim ,  Chang Gwon Lee 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

PECVD 공정에 의해 제조된 $SiO_2$ 절연층에 관한 연구

이재욱 ,  이수열 ,  선우국현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

PECVD 방법으로 제조된 비정질 Si 박막의 RTP를 이용한 결정화 연구

심찬호 ,  김하나 ,  김성준 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성

심재현 ,  조남희

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Si-SiO₂系의 問題点과 研究動向

成英權

전기의세계

1985 .06

다결정 Si/SiO₂ ∥ Si 적층구조에서 SiO₂층의 두께에 따른 유전특성의 변화

송오성 ,  이영민 ,  이진우

한국표면공학회지

2000 .08

HMDSO/O₂ PECVD를 이용한 SiO₂ 박막 증착 연구

이승훈 ,  강용진 ,  김종국 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

Si3N4 기판 위에 PECVD 법으로 형성한 Tungsten Nitride 박막의 특성 ( Characteristic of PECVD-WNx Thin Films Deposited on Si3N4 Substrate )

배성찬 ,  박병남 ,  손승현 외 2명

전자공학회논문지-D

1999 .07

Capacitance-Voltage Characteristics in the Double Layers of SiO₂/Si₃N₄

洪能杓 ,  洪眞雄

전기학회논문지 C

2003 .10

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성 평가

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

아르곤 스퍼터링 방법을 이용한 PECVD 실리콘 산화막의 특성 향상

박민 ,  박종문 ,  현영철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Si 및 InP 위에 PECVD법에 의한 $Si_{3}N_{4}$의 증착

김남준 ,  유순재 ,  김앙서 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

60㎒ PECVD법에 의한 μc-Si:H 박막의 저온증착 및 태양전지 응용

이정철 ,  정연식 ,  김석기 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

SiO₂/Si₃N₄ 2중층 박막의 유전특성

고길영 ,  김균식 ,  홍능표 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07