SiNx의 Substrate temperature 와 gas ratio의 변화에 따른 특성

백경현; 장경수; 이원백; 이준신

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저자정보: 백경현 (성균관대학교) 장경수 (성균관대학교) 이원백 (성균관대학교) 이준신 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.8

수록면: 250 - 250 (1page)

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