The formation of dense Si nanocrystals in Si/Si₃N₄ superlattices by the ultra high vacuum ion beam sputtering deposition

Se-Young Seo ,  In Yong Kim ,  Young Heon Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Fourier transform infrared spectroscopy를 이용한 SiNx박막의 수소농도 연구

이석열 ,  최재하 ,  제지홍 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .05

Up-conversion luminescence properties depending on Yb³⁺ concentrations of NaYF₄ nanocrystals

Jong Won Chung ,  Ge ,  elkhuu Zayakhuu 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2015 .05

Effect of thiophenol-based ligands on photoluminescence of quantum dot nanocrystals

Hyungseok Moon ,  Hoseok Jin ,  Bokyoung Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Ion Beam Induced Processes in Sputtering of Ta₂O5 / Si Interfaces.

문대원 ,  김경중 ,  김상열

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

A Novel Large Area Negative Sputter Ion Beam Source and Its Application

Steven Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

200℃의 저온에서 PECVD 기법으로 성장한 SiNx 박막의 열처리에 따른 광학적 특성 변화 규명

이경수 ,  김은겸 ,  손대호 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2011 .01

Visible luminescence from nanocrystalline silicon films produced by Ion - beam sputtering deposition

Jun-Sung Bae ,  Suk-Ho Choi ,  Keyng-Joong Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

A Brief Review of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Si₃N₄

You Jin Ji ,  Ki Seok Kim ,  Ki Hyun Kim 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2019 .09

Oxidation Mechanism of Si in the Growth of SiOx Thin Film by Ion Beam Sputter Deposition

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon ,  Moon-Seung Yang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Growth and Chracterization of Ta₂05 Thin Films on Si by Ion Beam Sputter Deposition

K. S. Pa ,  k ,  D. Y. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Ion Beam Sputter 증착조건에 따른 구조적 특성 분석

유병윤 ,  박재환 ,  빈석민 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Growth Behavior of Ga-Doped ZnO Thin Films on Au/SiNx/Si(001) Substrate Grown by RF Sputtering

김주현 ,  이무성 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Ion Beam Sputtering 방법에 의한 Transparent electrode용 ZnO Film 연구

박용욱 ,  최성창 ,  윤석진 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Ion Beam Sputtering Deposition을 이용한 SiOx / SiO₂ singlelayer 및 multilayers 에 생성된 Si nanocrystal의 비휘발성 메모리 효과 연구

홍승휘 ,  황형선 ,  최석호 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Topographic Development on Ion Beam Sputtered Surfaces.

문대원 ,  김경중 ,  K.Yoshiha 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

SiNx의 Substrate temperature 와 gas ratio의 변화에 따른 특성

백경현 ,  장경수 ,  이원백 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Linear Ion Beam Applications for Roll-to-Roll Metal Thin Film Coatings on PET Substrates

Seunghun Lee ,  Do-Geun Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .09

ITO deposition by Ion beam sputtering

한영건 ,  조준식 ,  최성창 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07