SiNx의 Substrate temperature 와 gas ratio의 변화에 따른 특성

백경현 ,  장경수 ,  이원백 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

A Brief Review of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Si₃N₄

You Jin Ji ,  Ki Seok Kim ,  Ki Hyun Kim 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2019 .09

Fourier transform infrared spectroscopy를 이용한 SiNx박막의 수소농도 연구

이석열 ,  최재하 ,  제지홍 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .05

고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 저수소 함량의 Silicon nitride (SiNx) 박막증착 및 PEALD 공정에 관한 연구

이승엽 ,  변지영 ,  김기석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Growth of epitaxial Al203 films on silicon by ionized beam deposition

Y. K. Choi ,  S. W. Whangbo ,  K. B. Chung 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Low Temperature PECVD process for SiNx/Organic Multilayer Thin Film Encapsulation

Hyung June Ahn ,  Sang Heon Yong ,  Sun Jung Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

PECVD를 이용한 가스비에 따른 SiNx Passivation 효과 실험

허종규 ,  최형욱 ,  윤기찬 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Nano - structure of Si₃N₄ on Si(001) using ionized N₂ gas

정민철 ,  한문섭 ,  유병덕 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Studies on Nanoscaled Ni-P Plating of Carbon Fiber Surfaces in a Composite System

Pa ,  k ,  Soo-Jin 외 5명

Carbon science

2002 .01

Nitric Acid를 이용한 SiNx/SiO2 Double Layer Passivation

최재우 ,  김현엽 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

PECVD를 이용하여 질소분위기에서 증착된 SiNx 박막의 특성 분석

공대영 ,  박승만 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Effect on Ionizing Radiation of Polymer Composites

Kovtunets ,  V.A. ,  Kupchishin 외 13명

동굴

2006 .01

Magnetism in Nanoscales

유용재

대한지질학회 학술대회

2008 .10

Substrate temperature dependence of crystalline Y₂O₃ films grown by Ionized Cluster Beam Deposition

M.H.Cho ,  S.W.Whangbo ,  J.G.Seo 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

결정질 실리콘 태양전지용 SiNx:H 박막 특성의 최적화 연구

이경동 ,  김영도 ,  Shailend 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

2012 .01

Nanoscale electron transport at a stepped Bi₂Se₃ surface

Sebastian BAUER ,  Hueseyin AZAZOGLU ,  Ch 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Optical Properties Analysis of SiNx Double Layer Anti Reflection Coating by PECVD

Daeyeong Gong ,  Seungman Pa ,  k 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02