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직류 아크 플라즈마트론을 이용한 플라즈마 식각 공정연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
고밀도 유도 결합형 플라즈마를 이용한 Mo 건식 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
공기 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 RIE 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
건식식각공정물성데이터베이스의 생산전략
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
펄스 직류 전원 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
평판형 디스플레이 패널 공정을 위한 대면적 건식식각 장치의 플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
Pulse DC O₂ 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트 기판의 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
음극 아크점 크기 예측을 위한 비이송식 아크 플라즈마 토치의 전산해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
건식식각시 플라즈마의 작용으로 인해 챔버 구성물질로부터 오염된 알루미늄의 제거
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
펄스 직류 BCl₃ 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
자유연소아크 시스템에서 아크-전극 결합 모델의 3차원 수치해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
아크 방전에 의한 열플라즈마와 금속 전극간 열-유동 특성에 관한 3차원 수치해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
유도 결합 플라즈마를 이용한 6H - SiC 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유도 결합형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
축전결합형 고주파 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
펄스 플라즈마를 이용한 라디칼 제어에 의한 실리콘 건식 식각시 RIE lag 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
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