초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic contact 특성

정귀상 ,  온창민

센서학회지

2006 .01

초고온 MEMS용 단결정 3C-SiC의 Ohmic Contact 형성

정귀상 ,  정수용

센서학회지

2005 .01

Tiw, A1/Tiw 박막의 저항특성및 annealing 효과

양전욱 ,  편광의 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

TiW , AI / TiW 박막의 저항특성 및 annealing 효과 ( Sheet Resistance and Annealing Effects of Thin TiW , AI / TiW Films )

양전욱 ,  편광의 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

극한 환경 MEMS용 옴익 접촉을 위한 다결정 3C-SiC 박막의 표면 처리 효과

정귀상 ,  온창민

전기전자재료학회논문지

2007 .01

열처리된 SiO2/TiW 구조의 계면 특성 ( The interfacial properties of the annealed SiO2/TiW structure )

이재성 ,  박형호 ,  이정희 외 1명

전자공학회논문지-A

1996 .03

XPS chamber 내 in-situ 열처리에 의한 $SiO_2$/TiW system의 계면반응 연구

박형호 ,  조경익 ,  김경수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Ohmic contact 개발을 위한 금속/SiC 계면 반응에 관한 연구

지응준 ,  김영일 ,  백홍구 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

TiW 두께 변화에 따른 결정질 실리콘 태양전지 전극 신뢰성 분석

신은구 ,  박형식 ,  임수창 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .09

안티퓨즈 소자의 하층 전극으로 사용될 TiW 실리사이드의 제조

이재성 ,  류창명 ,  이석현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

TiW Giue Layer 위에 화학증착된 텅스텐 박막에 관한 연구

박진성 ,  이영종 ,  박종옥 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

BCl3/SF6 gas chemistries 에 의한 TiW막의 식각특성 연구 ( A Study on the Etching Characteristics of TiW Films using BCl3/SF6 gas chemistries )

권광호 ,  김창일 ,  윤선진 외 3명

전자공학회논문지-D

1997 .03

구리 확산 방지막으로서 TiW/$WN_{x}$ 이중층의 열적안정성에 관한 연구

김동준 ,  박종완 ,  권철순 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Al 이온 주입된 p-type 4H-SiC에 형성된 Ni/Ti/Al Ohmic Contact의 전기적 특성

주성재 ,  송재열 ,  강인호 외 3명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

질화물 박막을 이용한 단결정 $\beta$-SiC의 고온 ohmic 접촉 연구

최연식 ,  나훈주 ,  정재경 외 1명

한국재료학회지

2000 .01

TiW seed layer 두께 변화에 따른 결정질 실리콘 태양전지 전극 신뢰성 평가

신은구 ,  신정은 ,  정재성

한국신뢰성학회 학술대회논문집

2018 .05

다결정 3C-SiC 박막 다이오드의 전기적 특성

정귀상 ,  안정학

센서학회지

2007 .01

Ohmic Contact to n-GaN

Dae Woo Kim ,  Joon Seop Kwak ,  Hong Koo Baik 외 3명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

다층 금속배선 공정의 via 접촉홀에서 수소 플라즈마 표면 처리에 의한 접촉면 잔유물 제거 효과

박민 ,  이중환 ,  전치훈 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Development of Ohmic Contact to GaN

김대우 ,  배준철 ,  곽준섭 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01