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Tiw, A1/Tiw 박막의 저항특성및 annealing 효과
대한전자공학회 학술대회
1986 .06
TiW , AI / TiW 박막의 저항특성 및 annealing 효과 ( Sheet Resistance and Annealing Effects of Thin TiW , AI / TiW Films )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
XPS chamber 내 in-situ 열처리에 의한 $SiO_2$/TiW system의 계면반응 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
열처리된 SiO2/TiW 구조의 계면 특성 ( The interfacial properties of the annealed SiO2/TiW structure )
전자공학회논문지-A
1996 .03
다결정 3C-SiC/TiW Ohmic Contact에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
TiW Giue Layer 위에 화학증착된 텅스텐 박막에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
안티퓨즈 소자의 하층 전극으로 사용될 TiW 실리사이드의 제조
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
SF6, C₄F8, O₂ 가스 변화에 따른 실리콘 식각율과 식각 형태 개선
전기전자재료학회논문지
2008 .01
평판형 유도결합 BCl₃/SF₆플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 식각에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
BCl₃/Ar 유도 결합 플라즈마 시스템에서 이온 에너지 분포에 따른 HfO₂ 박막의 식각
전기학회논문지
2007 .02
전자충돌과정을 통한 SF₆ 혼합기체의 절연특성 분석
전기학회논문지 P
2010 .06
BCl₃/Ar 유도 결합 플라즈마 시스템에서 이온 에너지 분포에 따른 HfO₂ 박막 식각
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
TiW 두께 변화에 따른 결정질 실리콘 태양전지 전극 신뢰성 분석
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .09
구리 확산 방지막으로서 TiW/$WN_{x}$ 이중층의 열적안정성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
SF₆ Gas의 현재와 미래
조명·전기설비
2010 .01
BCl₃/C₄F₈ 가스 조합을 이용한 ZrOx 박막의 선택적 플라즈마 식각에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
SF6계 혼합가스의 뇌임펄스 절연파괴특성
전기전자재료학회논문지
2005 .01
Low-k Polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구
한국재료학회지
2000 .01
초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic contact 특성
센서학회지
2006 .01
저진공 축전결합형 SF, SF/O, SF/CH 플라즈마를 이용한 아크릴의 반응성 건식 식각
한국재료학회지
2009 .01
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