Tiw, A1/Tiw 박막의 저항특성및 annealing 효과

양전욱 ,  편광의 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

TiW , AI / TiW 박막의 저항특성 및 annealing 효과 ( Sheet Resistance and Annealing Effects of Thin TiW , AI / TiW Films )

양전욱 ,  편광의 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

XPS chamber 내 in-situ 열처리에 의한 $SiO_2$/TiW system의 계면반응 연구

박형호 ,  조경익 ,  김경수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

열처리된 SiO2/TiW 구조의 계면 특성 ( The interfacial properties of the annealed SiO2/TiW structure )

이재성 ,  박형호 ,  이정희 외 1명

전자공학회논문지-A

1996 .03

다결정 3C-SiC/TiW Ohmic Contact에 관한 연구

온창민 ,  정귀상

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

안티퓨즈 소자의 하층 전극으로 사용될 TiW 실리사이드의 제조

이재성 ,  류창명 ,  이석현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

TiW 두께 변화에 따른 결정질 실리콘 태양전지 전극 신뢰성 분석

신은구 ,  박형식 ,  임수창 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .09

BCl3/SF6 gas chemistries 에 의한 TiW막의 식각특성 연구 ( A Study on the Etching Characteristics of TiW Films using BCl3/SF6 gas chemistries )

권광호 ,  김창일 ,  윤선진 외 3명

전자공학회논문지-D

1997 .03

LPCVD 텅스텐 박막에 관한 고찰

장원익 ,  유형준

[ETRI] 전자통신동향분석

1987 .12

초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic contact 특성

정귀상 ,  온창민

센서학회지

2006 .01

구리 확산 방지막으로서 TiW/$WN_{x}$ 이중층의 열적안정성에 관한 연구

김동준 ,  박종완 ,  권철순 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

TiW seed layer 두께 변화에 따른 결정질 실리콘 태양전지 전극 신뢰성 평가

신은구 ,  신정은 ,  정재성

한국신뢰성학회 학술대회논문집

2018 .05

LPCVD 방식으로 SiO₂ 위에 증착된 텅스텐 박막의 특성 분석

윤선필 ,  노관종 ,  황성민 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

기상화학증착 텅스텐 막질의 표면 형태에 관한 연구

전동수 ,  김선래 ,  이성영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

접합층을 이용한 선택 텅스텐 화학기상증착 공정연구 ( A Study of Selective W-CVD Process Using the Glue Layer )

최경근 ,  황성보 ,  박흥락 외 1명

전자공학회논문지-A

1992 .12

갈륨비소위에 플라즈마 화학 증착한 텅스텐 박막의 특성연구 ( Properties of Tungsten Films Grown on GaAs by PECVD )

홍종성 ,  김용태 ,  박승철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )

이시우 ,  김원규

전자공학회지

1988 .08

TiN glue layer위에 증탁되는 $SiN_4$ 환원 Blanket 텅스텐의 증착온도가 계면성질에 미치는 영향

이영종 ,  박종욱 ,  천성순 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01