Tiw, A1/Tiw 박막의 저항특성및 annealing 효과

양전욱 ,  편광의 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

XPS chamber 내 in-situ 열처리에 의한 $SiO_2$/TiW system의 계면반응 연구

박형호 ,  조경익 ,  김경수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

열처리된 SiO2/TiW 구조의 계면 특성 ( The interfacial properties of the annealed SiO2/TiW structure )

이재성 ,  박형호 ,  이정희 외 1명

전자공학회논문지-A

1996 .03

다결정 3C-SiC/TiW Ohmic Contact에 관한 연구

온창민 ,  정귀상

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

TiW Giue Layer 위에 화학증착된 텅스텐 박막에 관한 연구

박진성 ,  이영종 ,  박종옥 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

안티퓨즈 소자의 하층 전극으로 사용될 TiW 실리사이드의 제조

이재성 ,  류창명 ,  이석현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

BCl3/SF6 gas chemistries 에 의한 TiW막의 식각특성 연구 ( A Study on the Etching Characteristics of TiW Films using BCl3/SF6 gas chemistries )

권광호 ,  김창일 ,  윤선진 외 3명

전자공학회논문지-D

1997 .03

TiW 두께 변화에 따른 결정질 실리콘 태양전지 전극 신뢰성 분석

신은구 ,  박형식 ,  임수창 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .09

구리 확산 방지막으로서 TiW/$WN_{x}$ 이중층의 열적안정성에 관한 연구

김동준 ,  박종완 ,  권철순 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic contact 특성

정귀상 ,  온창민

센서학회지

2006 .01

TiW seed layer 두께 변화에 따른 결정질 실리콘 태양전지 전극 신뢰성 평가

신은구 ,  신정은 ,  정재성

한국신뢰성학회 학술대회논문집

2018 .05

초고온 MEMS용 단결정 3C-SiC의 Ohmic Contact 형성

정귀상 ,  정수용

센서학회지

2005 .01

A Novel Structure of Silicon Field Emission Cathode with Sputtered TiW for Gate Electrode and TEOS Oxide for Gate Dielectric

강성원 ,  Jin Ho Lee ,  Yoon Ho Song 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

극한 환경 MEMS용 옴익 접촉을 위한 다결정 3C-SiC 박막의 표면 처리 효과

정귀상 ,  온창민

전기전자재료학회논문지

2007 .01

다층 금속배선 공정의 via 접촉홀에서 수소 플라즈마 표면 처리에 의한 접촉면 잔유물 제거 효과

박민 ,  이중환 ,  전치훈 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

솔더범프와 TiW/Cu/electroplating Cu UBM 층과의 금속간 화합물 형성과 범프 전단력에 관한 연구

장의구 ,  김남규 ,  김남훈 외 1명

전기전자재료학회논문지

2004 .01

새로운 Annealing 방법 ( A New Annealing Method )

홍순관 ,  김철주 ,  박선우

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

새로운 AnneaLing 방법

홍순관 ,  박선우 ,  김철주

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

METALLURGICAL ISSUES IN COPPER-BASED METALLIZATION

Lin ,  C.S.

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

장애 학생들을 위한 인공 지능(AI) 교육 프로그램에서 고려할 사항 및 교육 프로그램 예시

유정수

한국정보통신학회 여성 ICT 학술대회 논문집

2020 .08