Tiw, A1/Tiw 박막의 저항특성및 annealing 효과

양전욱 ,  편광의 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

TiW , AI / TiW 박막의 저항특성 및 annealing 효과 ( Sheet Resistance and Annealing Effects of Thin TiW , AI / TiW Films )

양전욱 ,  편광의 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

XPS chamber 내 in-situ 열처리에 의한 $SiO_2$/TiW system의 계면반응 연구

박형호 ,  조경익 ,  김경수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

다결정 3C-SiC/TiW Ohmic Contact에 관한 연구

온창민 ,  정귀상

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

안티퓨즈 소자의 하층 전극으로 사용될 TiW 실리사이드의 제조

이재성 ,  류창명 ,  이석현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

TiW Giue Layer 위에 화학증착된 텅스텐 박막에 관한 연구

박진성 ,  이영종 ,  박종옥 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic contact 특성

정귀상 ,  온창민

센서학회지

2006 .01

BCl3/SF6 gas chemistries 에 의한 TiW막의 식각특성 연구 ( A Study on the Etching Characteristics of TiW Films using BCl3/SF6 gas chemistries )

권광호 ,  김창일 ,  윤선진 외 3명

전자공학회논문지-D

1997 .03

TiW 두께 변화에 따른 결정질 실리콘 태양전지 전극 신뢰성 분석

신은구 ,  박형식 ,  임수창 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .09

구리 확산 방지막으로서 TiW/$WN_{x}$ 이중층의 열적안정성에 관한 연구

김동준 ,  박종완 ,  권철순 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

TiW seed layer 두께 변화에 따른 결정질 실리콘 태양전지 전극 신뢰성 평가

신은구 ,  신정은 ,  정재성

한국신뢰성학회 학술대회논문집

2018 .05

Growth and Analysis of Intermediate SiO2 for the CeO2 / SiO2 Structure

김종걸 ,  한기평 ,  송인재 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

A Novel Structure of Silicon Field Emission Cathode with Sputtered TiW for Gate Electrode and TEOS Oxide for Gate Dielectric

강성원 ,  Jin Ho Lee ,  Yoon Ho Song 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

CaO/SiO₂, SiO₂/Al₂O₃, Fe₂O₃/SiO₂ 비 변화에 따른 소각전처리 없는 건조슬러지의 용융특성 및 냉각조건 변화에 따른 슬래그특성

배정석 ,  이상원 ,  염훈식 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2008 .12

SiO2-Si 구조의 계면준위 측정에 미치는 빛의 영향 ( The Effect of Illumination on Surface State Density measurement of SiO2-Si Structure )

민병훈 ,  이정한

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

극한 환경 MEMS용 옴익 접촉을 위한 다결정 3C-SiC 박막의 표면 처리 효과

정귀상 ,  온창민

전기전자재료학회논문지

2007 .01

급속 열처리에 의한 SiO2의 질화 ( Rapid Thermal Nitridation of SiO2 )

이용현 ,  왕진석

전자공학회논문지

1990 .05

다결정 Si/SiO₂ ∥ Si 적층구조에서 SiO₂층의 두께에 따른 유전특성의 변화

송오성 ,  이영민 ,  이진우

한국표면공학회지

2000 .08