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저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2002 대한전기학회 하계학술대회 논문집 D
발행연도
2002.7
수록면
2,089 - 2,092 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2003

단결정 실리콘 성장기의 자동 직경 제어
박종식 ,  이재민 ,  양승현 외 1명 대한전자공학회 학술대회 2003.07 학술대회자료

2002

긴 시간지연을 갖는 단결정 실리콘 성장기(Crystal Grower-FF CZ150)의 자동 직경 제어 시스템
박종식 ,  김종훈 ,  양승현 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2002.07 학술대회자료

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목차

Abstract
1. 서론
2. 자동 직경 제어 시스템의 제어기의 설계
3. 시뮬레이션
4. 결론
[참고문헌]

참고문헌 (0)

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