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한국조명·전기설비학회 조명·전기설비학회논문지 조명·전기설비학회논문지 제18권 제4호
발행연도
2004.7
수록면
49 - 59 (11page)

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본 연구에서는 실제의 산업현장(MEMC Korea)에서 생산 공정에 투입되고 있는 단결정 실리콘 성장기CZ-150 Crystal Grower의 직경을 자동으로 제어하는 시스템의 성능을 개선하기 위한 제어기를 설계하였다.
설계된 제어기의 설계파라미터들의 효용성을 컴퓨터 시뮤레이션을 통해 확인하고, 제안된 제어기가 항상 정상상태 오차가 존재하는 기존의 PD 제어기보다 성능이 우수함을 보였다.
#Crystal Grower #automatic diameter control #time-delay #steady-state error

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 단결정 실리콘 성장기의 자동직경제어
3. 자동직경 제어 시스템의 설계
4. 컴퓨터 시뮬레이션
5. 적용 실험 및 결과
6. 결론
References
◇ 저자소개 ◇

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - / s.l.kimbel / Next Steps in Process Modeling and Controller Design for Crystal Growth : 21 ~ 1994 google schola [학술지(정기간행물)] - / 1995. / PID Controllers: Theory, Design, and Tuning google schola [학술지(정기간행물)] - / 1999. / PID Tuning for Improved Performance 7 : 457 ~ 465 google schola [학술지(정기간행물)] - / 1997. / A New Modified Smith Predictor Control for Time-Delay Systems with an Integrator 3 : 127 ~ 130 google schola [학술지(정기간행물)] - / 1994. / A New Smith Predictor for controlling a Process with an Integrator and Long Dead-Time 39 google schola

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