열처리 조건이 Thermal Donors의 발생과 CZ-Si의 전기적 특성에 미치는 효과

강희성 ,  안창근 ,  권영규

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

Cz-Si wafer 내부에 발생하는 Thermal donors의 전기적 특성에 관한 연구

강희성 ,  권영규

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Cz-Si wafer 내부에 발생하는 Thermal donor의 전기적 특성에 관한 연구 ( The study on a electrical properties of the Thermal Donors in Cz-Si )

강희성 ,  권영규

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

CZ 실리콘 표면 상태에 미치는 산소 농도 및 열처리 영향 ( The Effects of Oxygen Concentration and Heat Treatment on the Surface Quality of CZ Silicon )

양두영 ,  김오현 ,  이희국

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

CZ 실리콘에서 산소 석출 현상에 대한 모델링 및 시뮬레이션

고봉균 ,  최성욱 ,  정홍일 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

급속 열처리시 Co/Ti/Si(100)계를 이용한 정합 Co$Si_{2}$형성기구 및 전기적 특성에 관한 연구

김기범 ,  곽준섭 ,  백홍구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Investigation of Grown-In Defects Distribution in CZ Single Crystal

황돈하 ,  이보영 ,  유학도

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

열처리 조건에 따른 Al-Si 접촉

김태형 ,  유석빈 ,  김창일 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

Present Status of Buried Contact Solar Cell Research in Strategic Energy Research Institute (SERI)

Soo-Hong Lee

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2004 .10

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

급속열처리에 따른 Si 이온주입 유기결함의 회복 거동 ( Annealing Behaviors of Various Defects in Si during Rapid Thermal Annealing )

김광일 ,  권영규 ,  정욱진 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

A Study on Blister Formation Electrical Properties of a-Si/c-Si Structure under the Annealing Conditions

Sungjin Choi ,  Ka-Hyun Kim ,  Min Gu Kang 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

Cz-TPD를 음극접합층으로한 OELD의 발광특성

최완지 ,  조민정 ,  박철현 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

CHARACTERIZATION OF BORON-DOPED CZ SILICON MATERIAL THROUGH SIMULATED NMOS THERMAL CYCLE

K. H. Cho ,  S. K. Hahn ,  Zofia U. Rek

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

ION IMPLANTATION ON INDUSTRIAL CZ P-TYPE SILICON FOR SCREEN PRINTED SOLAR CELLS

Ji-sun Kim ,  Ji-soo Kim ,  Yeon-hee Hwang 외 3명

AFORE

2013 .11

급속 열처리공정 ( RTA ) 에 의한 a-Si / Ti / a-Si 다층구조의 TiSi2 형성에 관한 연구 ( Titanium Silicide Formation of the a-Si / Ti / a-Si Multilayer by Rapid Thermal Annealing )

윤형섭 ,  진영모 ,  강원구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

긴 시간지연을 갖는 단결정 실리콘 성장기(Crystal Grower-FF CZ150)의 자동 직경 제어 시스템

박종식 ,  김종훈 ,  양승현 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07